[发明专利]发光二极管元件及其制造方法

权利要求书

1.一种发光二极管元件，包括：

基板；

第一电极，设置于该基板的一表面；

外延层，设置于该基板的另一表面之上；以及

第二电极，设置于该外延层上，其中该第二电极为一复合金属层且依序包括一钛层、一钨化钛层、一铂层以及一金层，

其中，该第二电极及该基板分别设置于该外延层的两侧。

2.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中该外延层具有p型氮化镓层、发光层以及n型氮化镓层。

3.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中该钛层的厚度介于15埃至100埃之间。

4.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中钨化钛的厚度介于500埃至1000埃之间。

5.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中该复合金属层还包含钨化钛层，设置于该外延层与该钛层之间。

6.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中该第二电极设置于该外延层的外延起始成长的一面。

7.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中该外延层与该第二电极相连接的表面具有平坦表面及粗糙表面，该第二电极还具有打线部及指状部，该打线部位于该平坦表面上，该指状部位于该粗糙表面上。

8.如权利要求1所述的发光二极管元件，其中该钛层用以粘着该外延层，该钨化钛层为阻障层，以减少该铂层及该金层扩散至该钛层，该铂层防止该钨化钛层氧化。

9.如权利要求7所述的发光二极管元件，其中该平坦表面为一电流阻障部。

10.一种发光二极管元件的制造方法，包括：

提供一基板；

形成一外延层于该基板的一表面上；以及

形成一电极于一外延层上，其中该电极为一复合金属层，由与该外延层相连接的一侧起，该电极依序包括钛层、钨化钛层、铂层以及一金层。

11.如权利要求10所述的制造方法，还包含：

湿蚀刻该外延层的部分表面以形成一粗糙表面，而未湿蚀刻的该外延层的表面为一平坦表面。

12.如权利要求11所述的制造方法，还包含：

形成一指状部于该外延层的该粗糙表面上，及形成一打线部于该外延层的该平坦表面上。

13.如权利要求10所述的制造方法，还包含：

溅镀形成一钨化钛层于该外延层及该钛层之间。

14.如权利要求10所述的制造方法，还包含：

设置另一电极于该基板，其中该另一电极与该外延层分别设置于该基板的两侧。

15.如权利要求10所述的制造方法，其中于形成一外延层于该基板的一表面上的步骤前，以一蓝宝石基板作为一外延基板形成该外延层。

16.如权利要求15所述的制造方法，其中于形成一外延层于该基板的一表面的步骤时，通过一金属层将具有导电性的该基板接合于该外延层，待外延层接合于外延层后，以激光的方式将该蓝宝石基板剥离。

17.如权利要求10所述的制造方法，其中该电极设置于该外延层的外延起始成长的一面。

18.如权利要求12所述的制造方法，其中该指状部及该打线部可以同一道制作工艺形成。