[发明专利]基片装载装置和PECVD设备

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种基片装载装置和具有其的PECVD设备。

背景技术

在传统的太阳能平板式PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备中，电池片料盒通过上料结构上料，其中取片机械手将电池片从料盒中逐片取出并将该基片放到顶起气缸的托盘上。然后高速机械手将电池片逐片地放到载板上。在载板装满后传入PECVD中进行工艺，在进行工艺处理后经过回收系统以及下料结构将电池片传出。取片机械手的取片效率低，导致高速机械手的能效不能充分地发挥，从而整个上料过程的效率很低。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明需要提供一种基片装载装置，所述基片装载装置的结构简单，控制和操作简单，成本低，且基片的装载效率高。

本发明进一步还需要提供一种具有上述基片装载装置的PECVD设备。

根据本发明第一方面实施例的基片装载装置，包括：基片上料组件，所述基片上料组件包括：至少两个料盒，所述至少两个料盒中分别放置有基片；至少三条传送带，所述至少三条传送带平行地水平设置且沿着所述传输带的传输方向同步运动用于将至少两个料盒从所述传送带的第一端同步传送至第二端；上料台，所述上料台与所述至少三条传送带的第二端对应设置以接纳所述至少三条传送带送来的至少两个料盒；限位组件，所述限位组件设在所述上料台的第二端上，当所述至少两个料盒到达所述限位组件处时所述至少三条传送带同步停止；和取片机械手，所述取片机械手用于从所述至少两个料盒内中同时一一对应地取出至少两个基片放置到载板上；载片装置，所述载片装置包括升起气缸和设在所述升起气缸上方的至少两个托盘，其中所述基片上料组件中的取片机械手将取到的至少两个基片一一对应地放置到所述至少两个托盘上；载板，载板与所述上料台并列设置；以及上料机械手，所述上料机械手设在所述载板和所述载片装置之间以将所述托盘上的至少两个基片取出并放置到所述载板上。

根据本发明实施例的基片装载装置，通过至少两个料盒同时上料，实现了倍数上料的思想，使得可同时向载板上装载多个基片，基片的装载效率高，结构简单，控制和操作简单且成本低。另外，通过设置限位组件，可保证料盒传送到上料台的正确位置上。

另外，根据本发明的基片装载装置还具有如下附加技术特征：

所述限位组件包括：至少两块挡板，所述至少两块挡板与所述至少两个料盒的位置在所述传输方向上一一对应以止挡所述至少两个料盒；和限位开关，其中当所述至少两个挡板止挡住所述至少两个料盒时，所述限位开关动作以控制所述至少三个传送带同步停止。

所述至少三条传送带包括：第一和第二传送带，所述第一和第二传输带平行设置；第三传送带，所述第三传送带位于所述第一和第二传送带之间，其中所述第三传送带的宽度大于所述第一和第二传送带的宽度。

可选地，所述第三传送带的数量为一条。

可选地，所述第一和第二传送带的宽度相等。由此制造方便且成本低。

所述取片机械手具有：支架；手臂，所述手臂的一端与所述支架相连；和至少两个基片吸附件，所述至少两个基片吸附件设在所述手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便从所述至少两个料盒内同时吸附出至少两个基片。

可选地，所述基片吸附件为吸盘。

所述上料机械手包括上料手臂和至少两个上料吸盘，所述至少两个上料吸盘设在所述上料手臂上且沿所述手臂的长度方向间隔开以便从所述至少两个托盘上同时吸附出至少两个基片放置到所述载板上。

所述上料机械手与所述取片机械手相连。由此，简化了整个基片装载装置的结构，且节省了成本。

根据本发明实施例的基片装载装置，可同时向载板上装载多个基片，基片的装载效率高、结构简单，控制和操作简单且成本低。

根据本发明第二方面实施例的一种PECVD设备，包括根据本发明第一方面实施例所述的基片装置。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明的实施例的基片装载装置的示意图；

图2是图1中所示的基片装载装置中的基片上料组件中的传送带的示意图；

图3是图1中所示的基片上料组件中的取片机械手的结构示意图；

图4是图1中所示的基片上料组件中的载片装置的结构示意图；