[发明专利]基板冷热处理装置

权利要求书

1.一种基板冷热处理装置，其特征在于：包括承载基板(W)的支撑板(1)，该支撑板(1)内埋设有电阻丝(4)并开有供冷却流体流过的冷却槽(3)；所述电阻丝(4)与电源连接，为基板(W)加热。

2.按权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述冷却槽(3)上方的支撑板(1)内开有导线槽(2)，所述电阻丝(4)容置于该导线槽(2)内；所述导线槽(2)与冷却槽(3)相对独立。

3.按权利要求2所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)为导热性能好的金属板，分为上层板(13)、中层板(14)、下层板(15)三层，所述导线槽(2)设在上层板(13)的下表面，俯视呈螺旋状；所述冷却槽(3)设在下层板(15)的上表面，俯视呈“S”型；所述中层板(14)位于导线槽(2)与冷却槽(3)之间。

4.按权利要求2或3所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)的中间开有通孔，所述电阻丝(4)的一端由该通孔向下引出、与电源连接。

5.按权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)的上表面均布有多个的支撑部(5)，基板(W)支撑在该支撑部(5)上，与所述支撑板(1)的上表面留有间隙。

6.按权利要求5所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述支撑部(5)俯视呈环状，上部为锥台、下部为底座，所述基板(W)的边缘靠在所述锥台的内侧、并由底座支撑；所述底座的厚度与基板(W)和支撑板(1)上表面之间的间距相等。

7.按权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述支撑板(1)沿高度方向均布有多个贯通孔(7)，每个贯通孔(7)内均插设有支撑杆(6)，所述支撑杆(6)的下端连接在升降机构上，顶端突出于支撑板(1)的上表面。

8.按权利要求7所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述升降机构包括气缸(10)及联动杆(12)，其中联动杆(12)的一端与气缸(10)的活塞相连，另一端与所述支撑杆(6)的下端连接；在联动杆(12)的下方设有挡板(16)，该挡板(16)上放置有调整基板(W)与支撑板(1)上表面之间间距的垫片(17)。

9.按权利要求7所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述贯通孔(7)为三个，三个贯通孔(7)的中心线之间的连线为正三角形，该正三角形的中心即为支撑板(1)的中心。

10.按权利要求7所述的基板冷热处理装置，其特征在于：所述支撑杆(6)的顶端为球面。