[发明专利]一种多孔硅微米管及其制备方法

权利要求书

1.一种多孔硅微米管，其特征在于：结构的主要成分是多孔硅，多孔硅微米管为多孔硅围成的非封闭圆形管状结构，其直径在10-20微米，其长度为100-600微米。

2.根据权利要求1所述的多孔硅微米管，其特征在于：所述的多孔硅微米管为独立的结构或者在硅基底上。

3.权利要求1所述多孔硅微米管的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

（1）硅基片采用单面抛光的p型硅片，(100)晶面，电阻率为5～10Ω·cm；采用RCA标准清洗工艺；而后在去离子水浸泡5分钟，氮气吹干；在非抛光面蒸铝，在氮气环境下450℃退火30分钟，形成良好欧姆接触；

（2）将质量百分比为48%的浓氢氟酸和体积百分比为99%的乙醇按体积比1∶1混合；腐蚀过程是在黑暗环境中进行；腐蚀的电流密度从82毫安/平方厘米，腐蚀时间从2分钟；厚度为2.5微米，而多孔度为60%-75%；

（3）多孔硅样品干燥过程中的自分离和卷曲工艺，干燥过程采用在不同环境中进行样品干燥处理。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于：所述的干燥处理为直接在空气中风干、用氮气份中干燥处理或在乙醇溶液中浸泡清洗处理后用氮气干燥。

5.如权利要求1所述的多孔硅微米管应用于化学或生物的探测载体。