[发明专利]在基板上分配焊料的方法和安装半导体芯片的方法有效
申请号: | 201210152244.2 | 申请日: | 2012-05-16 |
公开(公告)号: | CN102800603B | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 海因里希·贝希托尔德 | 申请(专利权)人: | ESEC公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/607 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 黄刚;车文 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 基板上 分配 焊料 方法 安装 半导体 芯片 | ||
1.一种在基板上分配焊料的方法,所述方法包括:
A)将基板(1)加热至位于所述焊料的熔化温度以上的温度;
B)在所述基板(1)的表面(2)上分配至少一个焊料部分(3);
C)将引脚(5)降低到所述焊料部分(3)中,直到所述引脚(5)接触所述基板(1)的所述表面(2)为止;
D)对所述引脚(5)施加预定力,使得所述引脚(5)压靠所述基板(1);
E)对所述引脚(5)施加超声,使得在所述引脚(5)中产生超声波,所述超声波被取向成相对于所述基板(1)的所述表面(2)垂直或成角度;
F)沿着预定路径(2)移动所述引脚(5),所述预定路径平行于所述基板(1)的所述表面(2)延伸;以及
G)提升所述引脚(5),直到所述引脚(5)已经从所述焊料部分(3)分离为止。
2.根据权利要求1所述的方法,进一步包括将所述引脚(5)冷却到比所述焊料的所述熔化温度低至少10K且位于所述焊料的固相线温度以上的温度。
3.根据权利要求1所述的方法,进一步包括在所述步骤C至所述步骤F期间将所述基板(1)保持在比所述焊料的所述熔化温度低至少10K且位于所述焊料的固相线温度以上的温度。
4.根据权利要求1所述的方法,其中在步骤B中将所述焊料分配在基板场所(8)上,并且其中所述沿着预定路径(9)移动所述引脚(5)包括至少部分地沿着所述基板场所(8)的边缘(10)移动所述引脚(5),所述引脚(5)的接触表面(6)突出到所述基板场所(8)之外并由此仅部分地接触所述基板场所(8)。
5.根据权利要求2所述的方法,其中在步骤B中将所述焊料分配在基板场所(8)上,并且其中所述沿着预定路径(9)移动所述引脚(5)包括至少部分地沿着所述基板场所(8)的边缘(10)移动所述引脚(5),所述引脚(5)的接触表面(6)突出到所述基板场所(8)之外并由此仅部分地接触所述基板场所(8)。
6.根据权利要求3所述的方法,其中在步骤B中将所述焊料分配在基板场所(8)上,并且其中所述沿着预定路径(9)移动所述引脚(5)包括至少部分地沿着所述基板场所(8)的边缘(10)移动所述引脚(5),所述引脚(5)的接触表面(6)突出到所述基板场所(8)之外并由此仅部分地接触所述基板场所(8)。
7.根据权利要求1所述的方法,其中在单个焊料部分的情况下,所述引脚(5)的直径小于所述焊料部分(3)的平均直径。
8.根据权利要求2所述的方法,其中在单个焊料部分的情况下,所述引脚(5)的直径小于所述焊料部分(3)的平均直径。
9.根据权利要求3所述的方法,其中在单个焊料部分的情况下,所述引脚(5)的直径小于所述焊料部分(3)的平均直径。
10.一种在基板上安装半导体芯片的方法,所述方法包括:
根据权利要求1至9中任一项在所述基板(1)上分配焊料部分(3);以及
将半导体芯片放置在所述焊料部分(3)上。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ESEC公司,未经ESEC公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210152244.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造