[发明专利]在线制备太阳能电池导电极膜层

权利要求书

1.一种在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于：在线连续磁控溅射镀膜，在真空腔室内，安装多种靶材构成阴极靶装置所形成的阴极靶连续镀膜区域和过渡区域；且镀膜区域内排列的阴极靶是平板靶或旋转靶，阴极靶相邻靶位的磁体极性可调； 磁体由外环和中间电磁体励磁线圈接直流电源正负极调节磁体极性；匹配外环和中间磁体的励磁线圈的匝数或磁体的截面积调节磁通量；电池基片通过真空腔室内阴极靶镀膜区和过渡区连续磁控溅射镀膜；在基片表面形成复合膜和金属膜,或金属氧化膜。

2.根据权利要求1所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于所说的真空腔室内制备硅基薄膜太阳能电池的背电极，在线连续磁控溅射镀膜的磁控溅射阴极靶双侧排布，每侧配备三个平面阴极装置，金属氧化靶材为AZO、银靶材Ag，铝靶材Al均为矩形，阴极接DC磁控溅射电源。

3.根据权利要求2所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于所说的硅基薄膜太阳能电池的背电极膜层，是AZO金属氧化透明复合膜和是银Ag，铝Al金属膜，其膜层界面清晰。

4.根据权利要求2所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于所说的基片在AZO和Ag的相邻交叉区域磁控溅射镀膜获得彼此独立的AZO膜层和Ag膜层。

5.根据权利要求2所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于所说的基片在银Ag和铝Al的相邻交叉区域磁控溅射镀膜，获得Ag和Al的混合膜层。

6.根据权利要求1所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于所说的过渡区是组合式阴极靶位交叉区，使得相邻或相对的阴极装置的磁体的极性相同或相反，连续磁控溅射镀混合膜层。

7.根据权利要求2所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于磁控溅射阴极靶是平面靶或旋转靶，阴极板两侧排布，对基片双侧面镀膜。

8.根据权利要求1所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于在阴极靶的靶位上装靶材、水冷背板，所说的阴极靶电磁体由外环电磁体和中间电磁体构成。

9.根据权利要求1所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于连续磁控溅射镀膜，阴极靶靶位单侧排布，配五个平面阴极靶位，依次为陶瓷靶TiO2、合金靶NiCr、金属靶银Ag、合金靶NiCr、陶瓷靶TiO2，阴极分别接DC磁控溅射电源。

10.根据权利要求1所说的在线制备太阳能电池导电极膜层，其特征在于所说外环和中间磁体电磁铁，通过匹配励磁线圈的匝数控制外环和中间磁体端面的磁通量相等。