[发明专利]一种透明导电氧化物薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、获得锌盐或铟盐与掺杂金属盐的溶胶溶液，其中，溶胶溶液的粘度为15～20mPa·s，所述锌盐或者铟盐中锌或者铟的浓度为0.1～1mol/L，锌与掺杂金属的摩尔比值为0.001~0.03，铟与掺杂金属的摩尔比值为0.05~0.15；

步骤二、将成膜介质浸入到所述溶胶溶液中，停留1～30s，然后以1～300cm/min的速度将所述介质提拉出所述溶胶液面，随后在80°C～300°C下保持0.5～30min，冷却；

步骤三、重复步骤二至所述成膜介质上的膜厚达到所需厚度，获得所述透明导电氧化物薄膜。

2.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述锌盐或铟盐与掺杂金属盐的溶胶溶液的配制步骤为：

将锌盐或铟盐加入到有机溶剂中，再加入与该锌盐或铟盐等摩尔比的稳定剂，置于60°C～100°C的温度下，搅拌0.5h～10h，获得锌盐或铟盐溶液；

将掺杂金属盐溶于有机溶剂中，获得掺杂金属盐溶液；

将所述锌盐或铟盐溶液与掺杂金属盐溶液混合，在50°C～150°C下搅拌0.5h～10h后，静置24h～48h，获得锌盐或铟盐与掺杂金属盐的溶胶溶液。

3.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为异丙醇、乙酰丙酮、乙二醇甲醚中的至少一种，所述稳定剂为二乙醇胺和/或单乙醇胺。

4.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述锌盐与掺杂金属盐的溶胶溶液中，掺杂金属盐为铝盐、镓盐、铟盐和钼盐中的至少一种；所述铟盐与掺杂金属盐的溶胶溶液中，掺杂金属盐为锡盐、镍盐和钼盐中至少一种。

5.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述厚度为300nm～500nm。

6.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述锌盐、铟盐和掺杂金属盐为其相应的醇盐、醋酸盐、乙烯丙酮盐、硝酸盐、氯化盐中的至少一种。

7.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述溶胶溶液的粘度为17～18mPa·s。

8.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述在80°C～300°C下保持0.5～30min的过程分为干燥和热处理两步依次进行，将提拉后的成膜介质置于80°C～150°C下干燥，时间为0.5min～15min，获得凝胶薄膜，再将凝胶薄膜置于150°C～300°C下预热处理，时间为0.5min～15min。

9.如权利要求1所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，还包括对所述透明导电氧化物薄膜进行退火的步骤，所述退火的温度为250°C～800°C，时间为10min～3h。

10.如权利要求9所述的透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，还包括对所述透明导电氧化物薄膜在还原气氛中进行二次退火处理的步骤，所述二次退火处理的温度为250°C～800°C，时间为0.5min～1h。