[发明专利]基板载具及其硒化制程系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板载具及其硒化制程系统，特别涉及一种具有耐热金属架体且在其上形成有保护层的基板载具及其硒化制程系统。

背景技术

一般来说，在铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池的量产制程上，常见用来形成铜铟镓硒/铜铟镓硒硫(CIGSS)吸收层的方法有二，一种为四元蒸镀法，另一种则是为硒化法。

在硒化法中，用来运载太阳能电池的背电极基板至硒化炉中的基板载具通常由石英或陶瓷所组成，借此，基板载具就可以同时具有抗高温及抗特定气体(如硫气体等)反应腐蚀的特性。然而，由于石英与陶瓷价格昂贵且质脆易碎，因此，使用基板载具由石英或陶瓷所组成的设计不仅会提高太阳能电池在整体制程上所需的物料成本，同时也会容易出现基板载具在运载背电极基板的过程中因与其它制程组件相撞而产生结构碎裂的问题，进而影响太阳能电池的制程效能及造成不必要的损失。

发明内容

本发明提供一种基板载具，用来运载多个背电极基板至一炉腔内，每一背电极基板上形成有一前趋物层，所述炉腔用来提供一制程气体以与所述前趋物层反应形成一光电转换层在每一背电极基板上，所述基板载具包括一耐热金属架体及一第一保护层。所述耐热金属架体具有多个承载槽，所述多个承载槽用来承载所述多个背电极基板。所述第一保护层形成在所述耐热金属架体上，用来防止所述耐热金属架体发生化学反应。

所述第一保护层可以是一氧化层、一氮化层，或一硒化层。

所述耐热金属架体可以在对应所述第一保护层之间形成有一第二保护层，且所述第二保护层可以由钼、钛、钽，或钨所组成。

所述耐热金属架体可以由不锈钢所组成。

所述耐热金属架体可以由钼、钛、钽，或钨所组成。

本发明还提供一种硒化制程系统，包括多个背电极基板、一炉腔及一基板载具。每一背电极基板上形成有一前趋物层。所述炉腔包括一反应室、一一气体输入管线及一加热装置。所述气体输入管线用来提供一制程气体至所述反应室内。所述加热装置用来加热所述反应室以使所述制程气体与所述前趋物层反应形成一光电转换层在每一背电极基板上。所述基板载具用来运载所述多个背电极基板至所述反应室内，所述基板载具包括一耐热金属架体及一第一保护层。所述耐热金属架体具有对应所述多个背电极基板的多个承载槽，每一背电极基板分别置放在相对应的承载槽上。所述第一保护层形成在所述耐热金属架体上，用来防止所述耐热金属架体与所述制程气体发生化学反应。

所述前趋物层可以是一I B族与IIIA族化合物层。

所述制程气体可以是硒化氢或硫化氢气体。

根据上述技术方案，本发明相较于现有技术至少具有下列优点及有益效果：通过基板载具具有耐热金属架体并在耐热金属架体上形成保护层的设计，本发明所提供的基板载具不仅可同时具有抗高温及抗特定气体反应腐蚀的特性，以防止耐热金属架体出现受到高温熔化、受到制程气体的腐蚀或是与制程气体反应生成有害化合物等现象，从而提升光电转换层的形成质量。另外，在可不须使用石英或陶瓷为基板载具的架体组成材质的设计下，本发明也可达到降低太阳能电池在整体制程上所需的物料成本的目的。除此之外，本发明还可利用耐热金属架体的高强度与高刚性的金属特性以大幅地提升基板载具的整体结构强度，从而解决上述基板载具在运载背电极基板的过程中因与其它制程组件相撞而产生结构碎裂的问题，以进一步地执行自动化。

附图说明

图1为根据本发明一优选实施例的硒化制程系统的内部示意图；

图2为图1的基板载具的立体图；

图3为图2的基板载具沿剖面线A-A′的剖面图；及

图4为根据本发明另一优选实施例的基板载具的剖面图。

其中，附图标记说明如下：

10        硒化制程系统    12        背电极基板

14        炉腔            16、100   基板载具

18        前趋物层        20        反应室

22        气体输入管线    24        加热装置

26、102   耐热金属架体    28        第一保护层

30        承载槽          104       第二保护层

具体实施方式