[发明专利]一种XY精密控制平台、控制系统及控制方法

权利要求书

1.一种XY精密控制平台，包括XY平台和主控制箱，其特征在于，所述XY平台包括：光栅尺和编码器；

所述光栅尺，用于监测XY平台的运行情况，并将XY平台的运行结果数据反馈给主控制箱；

所述编码器，用于监测电机的运行情况，并将电机的运行结果数据反馈给主控制箱；

所述主控制箱，用于接收、存储、分析和传输XY平台运行的数据。

2.根据权利要求1所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述XY平台还包括：X轴运动平台、Y轴运动平台；

所述X轴运动平台，用于提供XY平台在水平方向上运动的动力；

所述Y轴运动平台，用于提供XY平台在垂直方向上运动的动力；

所述Y轴运动平台位于X轴运动平台上。

3.根据权利要求1或2所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述控制平台还包括驱动器；

所述驱动器，用于根据主控制箱传输的数据，驱动电机的运行；

所述电机带动XY平台在二维空间的X方向和Y方向运行。

4.根据权利要求2所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述X轴运动平台和Y轴运动平台均包括：联轴器和丝杆；

所述联轴器，用于连接电机与丝杆；

所述丝杆，用于将电机的回转运动转化为直线运动。

5.根据权利要求1或2或4所述的XY精密控制平台，其特征在于，所述控制平台还包括计算机，与一个或多个主控制箱连接，用于提供数据输入的入口，并传输接收的数据。

6.一种基于权利要求1所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述控制系统包括：总控模块、电机闭环控制模块和光栅尺闭环控制模块；

所述总控模块，用于处理主控制箱接收的数据，并产生控制信号，以控制电机运行；

所述电机闭环控制模块，用于将编码器监测的电机运动情况的结果数据反馈给总控模块；

所述光栅尺闭环控制模块，用于将光栅尺监测的XY平台运动情况的结果数据反馈给总控模块。

7.根据权利要求6所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述电机闭环控制模块，包括电机监控模块和电机反馈模块；

所述电机监控模块，用于通过编码器监测电机的运动情况；

所述电机反馈模块，用于将电机的运动情况的结果数据反馈给总控模块。

8.根据权利要求6所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述光栅尺闭环控制模块，包括XY平台监控模块和XY平台反馈模块；

所述XY平台监控模块，用于通过光栅尺监测XY平台的运动情况；

所述XY平台反馈模块，用于将XY平台的运动情况的结果数据反馈给总控模块。

9.根据权利要求6所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述总控模块包括：数据处理模块、信号转换模块和信号传输模块；

所述数据处理模块，用于接收数据，并对数据进行解析，得X轴运动平台和Y轴运动平台移动的距离及方向；

所述信号转换模块，用于将移动的距离转为脉冲控制信号，移动的方向转为电平控制信号；

所述信号传输模块，用于传输信号转换模块中的控制信号。

10.根据权利要求6至9任一项所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述控制系统还包括计算机控制模块，该模块用于接收输入的数据，并将接收的数据传输给总控模块。

11.根据权利要求10所述的XY精密控制平台的控制系统，其特征在于，所述计算机控制模块包括：数据输入模块和数据传输模块；

所述数据输入模块，用于接收输入的数据；

所述数据传输模块，用于将数据传输给总控模块。