[发明专利]一种样品化学腐蚀用的夹具

说明书

技术领域

本发明涉及样品夹具领域，尤其是一种样品化学腐蚀用的夹具。

背景技术

在半导体制造业中，随着技术的发展和产线产能不断提高，在线需要检测、观察的样品数量也不断增加，因此，在检测样品过程中样品制备方面的工作量也越来越大，尤其是样品化学腐蚀方面。目前在样品化学腐蚀过程中，现有的操作夹具一次仅能处理一个样品，而一般情况下，进行处理的样品往往是多个，所以，应用现有的夹具，同样的操作需要重复进行多次才可以完成对多个样品的处理。而化学溶液浓度会随着时间、使用次数的增加而变化，这样就容易造成溶液对不同样品的处理效果不一致，从而造成电子显微镜对样品的观察结果的差异，从而产生观测误差，降低了人员的工作效率。另外，大量的重复化学操作还会大大增加工作人员受到化学药剂腐蚀的危险性。

发明内容

为改进现有技术中存在的问题，本发明提出一种样品化学腐蚀用的夹具，用以改善以往夹具每次只能处理一个样品的局限性问题。

本发明提出的样品化学腐蚀用的夹具，包括手柄，还包括：

至少一个支座，所述支座连接在所述手柄的一端；

至少两个夹子，所述至少两个夹子与所述支座连接。

通过在手柄的一端设置一个支座，可以同时承载几个相同或不同大小的夹子，扩展了原有夹具只能夹一个样品的局限性，提高了处理样品的工作效率。

所述支座上形成有凹槽，所述至少两个夹子的底部分别设有配合所述凹槽的凸块。

通过凹槽和凸块的配合，使夹子可以简便的安装在支座上，且更换方便。

所述支座为条状结构，条状结构的轴向方向与所述手柄的轴向方向垂直。

将支座横向设置在手柄的端部，可以使连接的夹子并列排布，方便使夹取的样品进入溶液的距离相等。

所述凹槽从条状结构的一端贯穿至另一端。

贯穿条状结构的凹槽可以更方便夹子的安装和拆卸，以及夹子之间距离的调整。

所述凹槽的轴向方向与所述条状结构的轴向方向垂直，并且所述条状结构上形成有多个间隔限定距离的凹槽。

所述支座为环状结构，环状结构的一面与所述手柄连接，另一面上形成有多个凹槽，所述至少两个夹子的底部分别设有配合所述凹槽的凸块。

将支座设定为环状结构，目的是配合盛放溶液的容器口，使支座在相应面积上可以安装更多的夹子。

所述环状结构为矩形框结构。

所述环状结构为圆环框结构。

所述环状结构为椭圆环框结构。

所述凹槽的垂直于轴向的截面为梯形，所述凸块的垂直于轴向的截面为与所述凹槽配合的梯形。

本发明提出的样品化学腐蚀用的夹具，在手柄上设置一个可以承载多个夹子的支座，使整体夹具可以一次夹取多个样品，减少了以往的单个夹具在夹取不同样品并进行不同操作时造成的时间误差、溶液浓度的误差，以及样品腐蚀角度不同造成的误差等，避免了误差过大造成的对真实情况的误判，同时也减少了操作人员的工作量，减少了因多次操作造成化学药品对操作员的伤害，提高了工作效率。

附图说明

为清楚描述本发明及其有益效果，结合以下附图对实施例的进行详细描述，其中：

图1是本发明实施例提供的夹具的立体结构示意图；

图2是本发明实施例提供的夹具的侧面结构示意图；

图3是本发明实施例提供的第一种凹槽的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的第二种凹槽的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的第一种环状结构支座的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的第二种环状结构支座的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的第三种环状结构支座的结构示意图。

具体实施方式