[发明专利]一种样品化学腐蚀用的夹具在审
| 申请号： | 201210055765.6 | 申请日： | 2012-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103293048A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 邓伟 | 申请（专利权）人： | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 李娟 |
| 地址： | 100871 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 样品 化学 腐蚀 夹具 | ||
1.一种样品化学腐蚀用的夹具，其特征在于，包括手柄(1)，还包括：
至少一个支座(2)，所述支座(2)连接在所述手柄(1)的一端；
至少两个夹子(3)，所述至少两个夹子(3)与所述支座(2)连接。
2.如权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支座(2)上形成有凹槽(21)，所述至少两个夹子(3)的底部分别设有配合所述凹槽(21)的凸块(31)。
3.如权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支座(2)为条状结构，条状结构的轴向方向与所述手柄(1)的轴向方向垂直。
4.如权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述凹槽(21)从条状结构的一端贯穿至另一端。
5.如权利要求3所述的夹具，其特征在于，所述凹槽(21)的轴向方向与所述条状结构的轴向方向垂直，并且所述条状结构上形成有多个间隔限定距离的凹槽(21)。
6.如权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述支座(2)为环状结构，环状结构的一面与所述手柄(1)连接，另一面上形成有多个凹槽(21)，所述至少两个夹子(3)的底部分别设有配合所述凹槽(21)的凸块(31)。
7.如权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述环状结构为矩形框结构。
8.如权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述环状结构为圆环框结构。
9.如权利要求6所述的夹具，其特征在于，所述环状结构为椭圆环框结构。
10.如权利要求2～9任一所述的夹具，其特征在于，所述凹槽(21)的垂直于轴向的截面为梯形，所述凸块(31)的垂直于轴向的截面为与所述凹槽(21)配合的梯形。
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