[发明专利]有机发光显示装置及其制造方法

说明书

本申请要求于2011年6月28日提交到韩国知识产权局的第10-2011-0063035号韩国专利申请的优先权和权益，该申请的公开通过引用全部包含于此。

技术领域

下面的描述涉及一种有机发光显示装置以及一种制造该有机发光显示装置的方法，更具体地说，涉及一种制造简单并且包括耐腐蚀性提高且电阻降低的焊盘部分的有机发光显示装置以及一种制造该有机发光显示装置的方法。

背景技术

在基底上制造诸如有机发光显示装置和液晶显示器(LCD)的平板显示器，所述基底上形成有包括薄膜晶体管(TFT)、电容器以及将TFT连接到电容器的布线的图案。通常，为了形成包括TFT等的精细图案，通过使用绘制有精细图案的掩模来将精细图案转印到用于制造平板显示器的基底上。

然而，在使用掩模来转印图案的过程中，首先制备绘制有所需图案的掩模。因此，随着使用掩模的工艺的数量增加，制备所用掩模的制造成本增加。此外，由于上述复杂的工艺而使制造工艺复杂，并且增加了制造时间，导致制造成本增加。

发明内容

本发明实施例的一方面提出了一种制造简单并包括提高了耐腐蚀性并降低了电阻的焊盘部分的有机发光显示装置以及制造该有机发光显示装置的方法。

根据本发明的实施例，提供了一种有机发光显示装置，所述有机发光显示装置包括：薄膜晶体管(TFT)，包括有源层和与有源层绝缘的栅极，所述栅极包括下栅极和上栅极，TFT还包括均与栅极绝缘并接触有源层的源极和漏极；有机发光器件，电连接到TFT并包括形成在与形成有下栅极的层相同的层中的像素电极、包括发射层的中间层和对向电极，其中，像素电极、中间层和对向电极顺序地堆叠；焊盘电极，电结合到TFT或有机发光器件，并且包括形成在与形成有下栅极的层相同的层中的第一焊盘电极、形成在与形成有上栅极的层相同的层中的第二焊盘电极和包括透明导电氧化物的第三焊盘电极，其中，第一焊盘电极、第二焊盘电极和第三焊盘电极顺序地堆叠。

有机发光显示装置还可包括覆盖栅极和焊盘电极的至少一个绝缘层，其中，绝缘层具有不暴露焊盘电极的边缘并且暴露焊盘电极的至少中心部分的孔。

焊盘电极的经所述孔暴露的部分可电连接到供应电流的驱动器集成电路(IC)，以驱动有机发光显示装置。

源极和漏极可布置在所述至少一个绝缘层的上表面上。

第三焊盘电极可包括多晶氧化铟锡(p-ITO)。

下栅极、像素电极和第一焊盘电极可包括透明导电氧化物。

上栅极和第二焊盘电极可包括从银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、锂(Li)、钙(Ca)、钼(Mo)、钛(Ti)、钨(W)、MoW和铜(Cu)中选择的至少一种。

有机发光显示装置还可包括电容器，所述电容器包括形成在与形成有有源层的层相同的层中的下电容器电极和形成在与形成有栅极的层相同的层中的上电容器电极，电容器电结合到TFT。

根据本发明的另一实施例，提供了一种制造有机发光显示装置的方法，所述方法包括下述步骤：第一掩模工艺，在基底上形成薄膜晶体管(TFT)的有源层；第二掩模工艺，在有源层的上表面上顺序地堆叠第一绝缘层、第一导电层、第二导电层和第三导电层，然后将第一导电层、第二导电层和第三导电层图案化以形成栅极(包括用作下栅极的第一导电层和用作上栅极的第二导电层)、第一电极图案(包括第一导电层和第二导电层)和焊盘电极(包括用作第一焊盘电极的第一导电层、用作第二焊盘电极的第二导电层和用作第三焊盘电极的第三导电层)；第三掩模工艺，在栅极、第一电极图案和焊盘电极的上表面上形成第二绝缘层，然后通过将第一绝缘层和第二绝缘层图案化来形成暴露有源层的一部分的第一孔，并通过将第二绝缘层图案化来形成暴露第一电极图案和焊盘电极的至少一部分的第二孔；第四掩模工艺，形成经所述第一孔接触有源层的源极和漏极，并由第一电极图案形成像素电极；第五掩模工艺，形成暴露像素电极的至少一部分的像素限定层。