[发明专利]一种先进过程控制系统及其测试方法

权利要求书

1.一种先进过程控制系统，其特征在于，与虚拟制造系统相连接，包括：

实时错误检测模块，与虚拟制造系统的数据采集模块相连接，用于从虚拟制造系统的数据采集模块获取虚拟工艺制造过程中的产品性能参数，并比照预设的产品性能参数，对虚拟工艺制造过程中产品性能参数进行错误检测；

错误分类与响应模块，与所述实时错误检测模块相连接，用于针对检测出的错误进行分类，并查找产生该错误的原因；

反馈/回馈控制模块，与所述错误分类与响应模块相连接，用于根据产生错误的原因，调用相应的校正模型对该错误相关的工艺/设备参数进行校正，得到校正后的工艺设备参数，并将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块。

2.根据权利要求1所述的先进过程控制系统，其特征在于，

所述反馈/回馈控制模块，还用于将校正后的工艺设备参数通过实时控制模块发送至虚拟制造系统的数据库模块进行存储。

3.根据权利要求2所述的先进过程控制系统，其特征在于，

反馈/回馈控制模块，与虚拟制造系统的数据库模块相连接，用于从虚拟制造系统的数据库模块获得设备工艺设备参数调整前后半导体晶片的产品性能参数，判断半导体晶片的性能改善是否达到预期效果，在未达到预期效果时，对校正模型进行调整，根据调整后的校正模型重新对工艺设备参数进行校正。

4.根据权利要求3所述的先进过程控制系统，其特征在于，所述反馈/回馈控制模块包括：

参数调整子模块，用于对所述校正模型的参数进行调整；或

模型调整子模块，用于更换所述校正模型。

5.根据权利要求3所述的先进过程控制系统，其特征在于，所述校正模型选自以下模型中的一种：MMSE控制方法、PID控制方法和混沌优化算法。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的先进过程控制系统，其特征在于，还包括：

实时控制模块，用于所述先进过程控制系统和所述虚拟制造系统的数据交互。

7.一种先进过程控制系统的测试方法，其特征在于，所述先进过程控制系统与虚拟制造系统相连接，包括：

从虚拟制造系统的数据采集模块获取虚拟工艺制造过程中的产品性能参数，并比照预设的产品性能参数，对虚拟工艺制造过程中产品性能参数进行错误检测；

针对检测出的错误进行分类，并查找产生该错误的原因；

根据产生所述错误的原因，调用相应的校正模型对该错误相关的工艺设备参数进行校正，并将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块，从而完成所述先进过程控制系统的验证测试。

8.根据权利要求7所述的先进过程控制系统测试方法，其特征在于，所述将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块的同时还包括：

将校正后的工艺设备参数通过实时控制模块发送至虚拟制造系统的数据库模块存储。

9.根据权利要求8所述的先进过程控制系统测试方法，其特征在于，所述将校正后的工艺设备参数发送至虚拟制造系统的过程控制模块之后还包括：

从虚拟制造系统的数据库模块获得设备工艺设备参数调整前后半导体晶片的产品性能参数，判断半导体晶片的性能改善是否达到预期效果，在未达到预期效果时，对校正模型进行调整，根据调整后的校正模型重新对工艺设备参数进行校正。

10.根据权利要求8所述的先进过程控制系统测试方法，其特征在于，所述对校正模型进行调整包括：

对所述校正模型的参数进行调整；或更换所述校正模型。