[发明专利]行进车系统

说明书

本申请是发明名称为“行进车系统”、申请日为2010年3月29日并且申请号为20101045538.3的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及载置收容基板的基板盒而在环状的轨道上循环行进的行进车系统。本申请基于2009年3月30日在日本提出申请的特愿2009-081661号及2009年3月30日在日本提出申请的特愿2009-081662号主张优先权，这里引用其内容。

背景技术

以往，已知有沿着轨道配置有对在轨道上行进的行进车进行输送物的取放的输送物保管搁板的行进车系统(例如参照特开平10-273204号公报)、以及为了对处理输送物的处理装置移载输送物而设有行进车能够进入的泊位的行进车系统(例如参照特开2001-341640号公报)。

在有关特开平10-273204号公报的行进车系统中，在环状轨道的中央的内部设有供给站，并且沿着环状的轨道的侧面配置有保管搁板，从两侧将输送物移载到在行进轨道上行进的行进车上。

此外，在有关特开2001-341640号公报的行进车系统中，在轨道的外侧设置用来将行进车停靠在处理装置上的泊位，在进入到泊位中的行进车与处理装置之间进行输送物的装载、卸载。

在有关特开平10-273204号公报的行进车系统中，保管搁板(立体自动仓库)构成为高层建筑物。因此，输送物的收容能力较大，但在从保管搁板的保管部取放输送物时使用堆装起重机。

因而，有关特开平10-273204号公报的行进车系统不仅在输送物的取放中花费时间，而且不具备临时保管输送物的缓冲功能，所以输送效率降低。此外，在有关特开平10-273204号公报的行进车系统中，保管搁板多级、多联地构成，但由于保管搁板与行进车单独地构成，所以具有输送效率变差的问题。

此外，在有关特开2001-341640号公报的行进车系统中，在轨道的外侧，设有用来将行进车停靠在处理装置的装载、卸载位置的泊位(空间)。因此，在有关特开2001-341640号公报的行进车系统中，对行进车的移载花费时间，具有行进车的输送效率降低的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述情况而做出的，目的是提供一种能够提高设备的省空间化和无人行进台车的输送效率的行进车系统。

有关本发明的第1技术方案为了解决上述问题而具备以下的机构。

第1技术方案具备：基板处理装置，实施基板的保管或规定的处理；无人行进台车，具有使上述基板在收容在基板盒中的状态下沿上下方向升降的升降部以及将上述基板盒朝向上述基板处理装置水平移动的水平移动部，将上述基板盒沿着朝向上述基板处理装置设置的轨道输送；基板盒保管部，在上述轨道的上方保持并保管基板盒。

有关本发明的第2技术方案在上述第1技术方案中，上述无人行进台车在上述升降部及上述水平移动部的上方具备保管上述基板盒的台车上基板盒保管部。

根据本发明，由于在轨道上方设有基板盒保管部，所以能够实现行进车系统整体的省空间化。进而，能够缩短基板盒相对于行进车的移载时间、提高无人行进台车的输送效率及准备时间。

此外，根据本发明，在上述基板盒上设有被保持部件，在上述基板盒保管部上设有卡合到上述被保持部件上的保持部件。

由此，能够容易且可靠地将基板盒载置到基板盒保管部上。

此外，根据本发明，上述保持部件能够沿上下方向或水平方向移动而构成。

由此，能够容易或高效率地将基板盒保持到基板盒保管部上。

此外，根据本发明，使上述无人行进台车在上述基板盒保管部的下方停止；使上述升降部与上述水平移动部协同动作，将上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。

此外，根据本发明，使上述无人行进台车的行进部与上述升降部，协同动作，将基板盒保持在上述基板盒保管部上。

此外，根据本发明，上述基板盒可多级堆叠地构成。

由此，根据本发明，能够进一步实现行进车系统整体的省空间化。

此外，根据本发明，卡合到上述被保持部件上的保持部件设在上述台车上基板盒保管部上。

由此，能够容易且可靠地将基板盒载置到台车上基板盒保管部上。

此外，上述保持部件能够沿上下方向或水平方向移动而构成。

由此，能够容易或高效率地将基板盒保持在台车上基板盒保管部上。

此外，根据本发明，将没有收容上述基板的空的基板盒保持在上述台车上基板盒保管部上。由此，能够实现行进车系统整体的高效率的运用。

附图说明