[发明专利]行进车系统有效
| 申请号： | 201210048074.3 | 申请日： | 2010-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN102556664A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 石桥希远;村山晋;和田芳幸;大野俊孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;杨楷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 行进 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种行进车系统，其特征在于，具备：
基板处理装置，实施基板的保管或规定的处理；
无人行进台车，具有使上述基板在收容在基板盒中的状态下沿上下方向升降的升降部以及将上述基板盒朝向上述基板处理装置水平移动的水平移动部，将上述基板盒沿着朝向上述基板处理装置设置的轨道输送；
基板盒保管部，在上述轨道的上方保持并保管基板盒。
2.如权利要求1所述的行进车系统，其特征在于，
在上述基板盒上设有被保持部件；
在上述基板盒保管部上设有卡合到上述被保持部件上的保持部件。
3.如权利要求1所述的行进车系统，其特征在于，
使上述无人行进台车在上述基板盒保管部的下方停止；
使上述升降部与上述水平移动部协同动作，将上述基板盒保持在上述基板盒保管部上。
4.如权利要求1所述的行进车系统，其特征在于，使上述无人行进台车的行进部与上述升降部协同动作，将基板盒保持在上述基板盒保管部上。
5.如权利要求1所述的行进车系统，其特征在于，上述基板盒可多级堆叠到基板盒保管部上而构成。
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