[发明专利]一种三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置及操作方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置，包括间壁精馏塔、冷凝再沸换热器、压缩机、分离罐、换热器、泵、降压阀以及相应的管线；其特征是在间壁精馏塔中，两块隔板将塔分为预分离塔、脱重塔和脱轻塔三部分，预分离塔由进料段精馏段和进料段提馏段组成，脱轻塔由塔顶分离段和脱轻塔提馏段组成，脱重塔由脱重塔精馏段和塔底分离段组成；进料位置在预分离塔测，产品出口位置在脱轻塔的塔底和脱重塔的塔顶；预分离塔的理论板数在100～200块，进料位置在预分离塔的第50～90块理论板，脱轻塔的理论板数在40～110块，脱重塔的理论板数在40～110块。

2.权利要求1的三氯氢硅提纯的双热泵精馏装置的操作方法；其特征为，含有轻重杂质的三氯氢硅原料进入间壁精馏塔中的预分离塔，在预分离塔中初步完成轻重组分的分离；含有轻组分杂质和三氯氢硅的流股进入到塔顶分离段和脱轻塔提馏段，脱除轻组分杂质后，最终在脱轻塔的塔底得到高纯度三氯氢硅产品；含有重组分杂质的和三氯氢硅的流股进入到塔底分离段和脱重塔精馏段，脱除重组分杂质后，最终在脱重塔的塔顶得到高纯度三氯氢硅产品。

3.如权利要求2所述方法，其特征是双热泵精馏装置中预分离塔的塔顶压力为70～160kpa预分离塔内塔顶液体分配比0.35～0.6，塔釜气体分配比0.3～0.65；脱轻塔塔顶压力40kpa～110kpa，回流比20～140；脱重塔塔顶压力95kpa～210kpa，回流比1～30。