[发明专利]基板传输机构和具有它的基板传输系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体工艺技术领域，特别是涉及一种基板传输机构和具有该基板传输机构的基板传输系统。

背景技术

在半导体，LED等行业中通常要使用能够自动装卸基板的自动化装卸装置。通过自动化装卸装置，可以把准备进行工艺处理的基板摆放到工位上，并在完成工艺处理后回收基板。传统上，使用高性能的机械手臂和配套的自动化装置来完成基板的装卸，机械手臂可以完成旋转、伸缩和升降动作。此外，为了定位装片和放片工位，自动化装卸片装置通常还需要具有能够和机械手臂配套的其他装置来完成旋转和升降的动作。例如，传统的基板传输系统由机械手臂，以及配套的片盒旋转和升降装置，和托盘旋转和升降装置构成。

传统基板传输系统中，由于机械手臂需要具有旋转、伸缩和升降等多轴运动功能，因此价格昂贵，控制复杂，维护成本较高，操作需要一定的技能。此外，需要片盒旋转和升降装置以及托盘旋转和升降装置配合机械手臂，因此系统的结构复杂，控制复杂，进一步增加了成本。另外，还存在传输效率不高的问题。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种基板传输机构，该基板传输机构结构简单，操作方便且成本低。

本发明的另一目的在于提出一种具有上述基板传输机构的基板传输系统，该基板传输系统结构简单，控制和操作简单，成本低，传输效率高。

根据本发明第一方面实施例的基板传输机构包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板。

根据本发明实施例的基板传输机构，根据本发明实施例的基板传输机构，结构简单、操作方便且效率高，可省略了传统的基片传输机构中的通用式机械手臂等设备，成本低。

另外，根据本发明的基板传输机构还具有如下附加技术特征：

所述旋转运动单元，包括：副臂，所述副臂的一端可枢转地安装在所述主臂上；

末端执行器，所述末端执行器安装在所述副臂的另一端用于抓取基板；和第二驱动器，所述第二驱动器与所述副臂相连以驱动所述副臂相对于所述主臂枢转。

所述直线运动单元是第一驱动器，所述第一驱动器与所述主臂相连以驱动所述主臂直线平移。

所述末端执行器为非接触式吸盘，由此使得末端执行器可以在不伤害基板的表面的情况下对基板进行传输。

所述第一驱动器为气缸、液压缸或电缸。

所述副臂通过枢轴可枢转地安装在所述主臂上，所述第二驱动器包括：驱动电机，所述驱动电机安装在所述主臂上；第一带轮，所述第一带轮安装在所述驱动电机的电机轴上；第二带轮，所述第二带轮安装在所述枢轴上；和传输带，所述传输带与所述第一带轮和第二带轮相连。

根据本发明第二方面实施例的基板传输系统包括：用于放置基板的托盘；片盒，所述片盒用于容置基板；片盒升降机构，所述片盒升降机构与所述片盒相连用于升降所述片盒；和基板传输机构，所述基板传输机构为根据本发明第一方面所述的基板传输机构，其中所述基板传输机构通过所述直线运动单元的直线平移和所述旋转运动单元的旋转在所述托盘和所述片盒之间传输所述基板。

根据本发明实施例的基板传输系统，通过片盒升降机构来配合基板传输机构的基板的抓取和放置工作，结构简单、控制和操作简单，成本低且传输效率高。另外，通过驱动副臂相对于主臂可旋转，从而使得末端执行器可更好地适应不同的片盒位置，为片盒的摆放方式提供了更多的选择。

所述片盒升降机构为电缸。

可选地，所述电缸带有旋转编码器以精确地实现片盒的升降和定位。

所述基板传输系统还包括托盘旋转机构，所述托盘旋转机构与所述托盘相连以驱动所述托盘旋转。通过采用托盘旋转机构，可以实现托盘的旋转和托盘上基板的定位，从而提高传输速率，或者解决末端执行器在其工作区域内不能旋转抓取基板的问题。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的基板传输系统的俯视图；和

图2是图1中所示的基板传输系统的主视图。

具体实施方式