[发明专利]基板传输机构和具有它的基板传输系统

权利要求书

1.一种基板传输机构，其特征在于，包括：直线运动单元、旋转运动单元和主臂，其中：

所述直线运动单元，通过所述主臂与所述旋转运动单元连接，所述直线运动单元用于驱动所述旋转运动单元作直线运动；

所述旋转运动单元，用于旋转抓取或者松开基板。

2.根据权利要求1所述的基板传输机构，其特征在于，所述旋转运动单元，包括：

副臂，所述副臂的一端可枢转地安装在所述主臂上；

末端执行器，所述末端执行器安装在所述副臂的另一端用于抓取基板；和

第二驱动器，所述第二驱动器与所述副臂相连以驱动所述副臂相对于所述主臂枢转。

3.根据权利要求2所述的基板传输机构，其特征在于，所述直线运动单元是第一驱动器，所述第一驱动器与所述主臂相连以驱动所述主臂直线平移。

4.根据权利要求1所述的基板传输机构，其特征在于，所述末端执行器为非接触式吸盘。

5.根据权利要求1所述的基板传输机构，其特征在于，所述第一驱动器为气缸、液压缸或电缸。

6.根据权利要求2所述的基板传输机构，其特征在于，所述副臂通过枢轴可枢转地安装在所述主臂上，所述第二驱动器包括：

驱动电机，所述驱动电机安装在所述主臂上；

第一带轮，所述第一带轮安装在所述驱动电机的电机轴上；

第二带轮，所述第二带轮安装在所述枢轴上；和

传输带，所述传输带与所述第一带轮和第二带轮相连。

7.一种基板传输系统，其特征在于，包括：

用于放置基板的托盘；

片盒，所述片盒用于容置基板；

片盒升降机构，所述片盒升降机构与所述片盒相连用于升降所述片盒；和

基板传输机构，所述基板传输机构为根据权利要求1-6中任一项所述的基板传输机构，其中所述基板传输机构通过所述直线运动单元的直线平移和所述旋转运动单元的旋转在所述托盘和所述片盒之间传输所述基板。

8.根据权利要求7所述的基板传输系统，其特征在于，所述片盒升降机构为电缸。

9.根据权利要求8所述的基板传输系统，其特征在于，所述电缸带有旋转编码器。

10.根据权利要求7所述的基板传输系统，其特征在于，还包括托盘旋转机构，所述托盘旋转机构与所述托盘相连以驱动所述托盘旋转。