[发明专利]超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置及操作方法有效
申请号: | 201210043998.4 | 申请日: | 2012-02-24 |
公开(公告)号: | CN102616789A | 公开(公告)日: | 2012-08-01 |
发明(设计)人: | 刘春江;郭凯;袁希钢;丁晖殿 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人: | 王丽 |
地址: | 300072 天*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超纯三氯氢硅 分离 精馏 间壁 装置 操作方法 | ||
1.超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔装置,包括间壁塔(1)、冷凝再沸器(15);其特征是在塔(1)中,隔板将塔分为预分离塔和主塔两部分,预分离塔由进料段精馏段(4)和提馏段(5)组成,主塔部分由侧线产品段精馏段(6)和提馏段(7)组成;预分离塔的理论板数在160~320块,进料位置在60~110块理论板,主塔的理论板数在150~230块,侧线采出的位置在60~80块理论板。
2.权利要求1的超纯三氯氢硅分离的热泵精馏间壁塔的操作方法;其特征为,含有轻重杂质的三氯氢硅原料(10)进入间壁塔(1)的进料段,在进料段的精馏段(4)和提馏段(5)完成轻重组分的分离;含有轻组分杂质和三氯氢硅的流股进入到塔顶段(2)、侧线产品段精馏段(6)和提馏段(7)进一步分离,最终在侧线采出得到超纯三氯氢硅;塔顶汽体流股(9)和塔釜液体流股(12)在冷凝再沸器(15)中进行换热,流股(12)部分汽化,进入到分离罐(21)中,其中的汽体流股作为塔釜再沸汽进入到塔(1)中,液体流股作为塔釜重组分杂质采出;汽体流股(9)换热后部分液化,依次经过降压阀(20)和换热器(18)后全部液化,液体流股(9)通过泵(16)一部分作为塔顶回流液进入到塔(1)中,另一部分作为塔顶轻组分杂质采出。
3.如权利要求2所述方法,其特征是热泵精馏间壁塔的回流比在10~30,塔顶压力为80kpa~320kpa,塔顶的液体分配比在25%~40%,塔釜的气体分配比在40%~55%,压缩机能耗在300kw~650kw,换热器所需冷量在150kw~650kw。
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