[发明专利]薄膜沉积系统

权利要求书

1.一种薄膜沉积系统，用以形成至少一材料层在至少一基板上，其特征在于，该薄膜沉积系统包括：

一载台，绕一载台轴旋转；

至少一承座齿轮，设置在该载台之上，其中各承座齿轮与该载台一起绕该载台轴旋转，其中至少两相邻的该承座齿轮的齿纹至少部分重叠且未相互接触；及

一中央齿轮，啮合该承座齿轮，其中当该承座齿轮沿着该载台轴旋转时，该中央齿轮带动该承座齿轮绕其各自对应的承座轴旋转。

2.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，各相邻的承座齿轮的齿纹将至少部分重叠且未相互接触，以致各相邻的承座齿轮被中央齿轮带动旋转时彼此之间不会相互干扰。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜沉积系统，其特征在于，各相邻的承座齿轮的齿纹将至少部分重叠，且在各相邻的承座齿轮中的其中一该承座齿轮的齿纹位于另一该承座齿轮的齿纹上方。

4.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该至少两相邻的承座齿轮包括啮合于该中央齿轮的齿纹。

5.根据权利要求1或4所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该中央齿轮的齿纹厚度超过该至少两相邻的承座齿轮的齿纹厚度。

6.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该载台轴不同于该承座轴。

7.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该中央齿轮位在该载台轴的中心。

8.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该至少一承座齿轮用以支撑至少一基板。

9.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，该至少一承座齿轮包括至少一基板承座。

10.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，还包括至少一连接至该至少一承座齿轮的基板承座。

11.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，还包括一载台驱动机制使该载台绕该载台轴旋转。

12.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，还包括一喷气头，其设置在该载台上方。

13.根据权利要求1所述的薄膜沉积系统，其特征在于，还包括至少一加热装置，其设置在该承座齿轮下方。

14.一种薄膜沉积方法，用以形成至少一材料层在至少一基板上，其特征在于，该薄膜沉积方法包括：

使至少一基板绕一载台轴旋转，该至少一基板是设在至少一承座齿轮上，且该至少一承座齿轮设置在一载台上；

当该承座齿轮绕该载台轴旋转时，以一中央齿轮使各承座齿轮绕其各自对应的承座轴进行旋转，其中至少两相邻的承座齿轮的齿纹啮合中央齿轮的齿纹以及至少两相邻的承座齿轮的齿纹将至少部分重叠且未相互接触；及

当该至少一基板绕该载台轴及各承座轴旋转时，形成至少一材料层在基板上。

15.根据权利要求14所述的薄膜沉积方法，其特征在于，还包括利用化学气相沉积方式形成该至少一材料层在该至少一基板上的步骤。

16.根据权利要求14所述的薄膜沉积方法，其特征在于，各相邻的该承座齿轮的齿纹将至少部分重叠且未相互接触，以致各相邻的该承座齿轮被该中央齿轮带动旋转时彼此之间不会相互干扰。

17.根据权利要求14所述的薄膜沉积方法，其特征在于，各相邻的该承座齿轮的齿纹至少部分重叠，且在各相邻的承座齿轮中的其中一该承座齿轮的齿纹位于另一该承座齿轮的齿纹上方。