[发明专利]红外显微系统及其实现图像融合的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种红外显微系统及其实现图像融合的方法。

背景技术

红外成像在半导体功率器件的设计、集成电路的可靠性检测、激光二极管的实效分析、MEMS器件的热分布分析、材料热性能的分析以及生物标本温度分析等微观领域具有相当广泛的应用，因此红外显微镜系统应运而生。但是由于红外热像仪通常只对单一波长或某个特定波段敏感，比如7-14μm波段、3-5μm波段等，导致其对场景的亮度变化不敏感，成像清晰度低，对图像的细节捕捉远没有可见光丰富。而可见光成像显微镜敏感于目标物体的反射，与热对比度无关，能够获取高清晰度的图像，并能够提供目标物体的细节信息，但无法提供目标物体的热谱信息，因此，在诸多需要热谱分析的检测应用中受到限制。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种红外显微系统及其实现图像融合的方法，可同时满足微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求，又能够实现红外热分布的成像。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种红外显微系统，包括支架、载物台、目标物体、可见显微相机和红外显微相机，所述目标物体置于所述载物台上；所述可见显微相机和红外显微相机分别置于所述支架上并位于所述载物台上方，所述可见显微相机和红外显微相机的光轴相互平行且垂直于所述载物台上侧面，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平面内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物体。

作为本发明的进一步改进，所述可见显微相机和红外显微相机能够同时相对所述载物台沿所述支架上下移动并定位，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别沿其所在的水平内左右移动并使其镜头正对置于所述载物台上的目标物体的结构为：在所述载物台正上方设置Z向导杆，另设有横向支架，所述横向支架通过螺纹啮合于所述Z向导杆上，且所述横向支架可沿Z向导杆上下移动并定位；所述可见显微相机和红外显微相机分别滑动定位于所述横向支架上，且所述可见显微相机和红外显微相机能够分别相对所述横向支架左右移动并定位。

本发明还提供一种利用上述的红外显微系统实现图像融合的方法，其特征在于包括以下步骤：

①首先将所述红外显微相机对准目标物体，并调节到合适的放大倍率，然后对目标物体成像得到其红外图像并保存，然后从该红外图像中提取目标区域；

②移开所述红外显微相机并使所述可见显微相机对准所述目标物体，然后将该可见显微相机调节到与上述步骤①中红外显微相机相同的放大倍率下，使所述可见显微相机对所述目标物体成像得到其可见光图像并保存；

③在上述步骤中保存的可见光图像上且对应所述红外图像中的目标区域处选择若干个特征点；

④移开所述可见显微相机使所述红外显微相机重新对准所述目标物体，在与步骤①中红外显微相机相同的放大倍率下得到的目标物体的实时观测图像上对应上述可见光图像上的若干个特征点处分别选取与之对应的参考点；

⑤先对所述可见光图像进行旋转，然后再对所述红外图像进行相应的旋转，再对旋转后的红外图像进行拉伸变换，拉伸变换时以上述可见光图像上的特征点为参考坐标，将上述红外图像上的参考点的坐标以该参考点的坐标与与之对应的特征点的坐标的比值为比例分别做拉伸变换，得到变换后的红外图像，然后将该变换后的红外图像与所述可见光图像重合，最后将该重合的变换后的红外图像与所述可见光图像进行和所述红外图像相反方向的旋转使之回复到所述红外图像的初始状态，从而得到红外图像和可见光图像的叠加融合图像。

本发明的有益效果是：该系统和方法能够同时将目标物体的可见光与红外静态或动态图像信息提供给使用者，既满足了微器件及微结构的清晰成像及细节分析需求，又能够实现红外热分布的成像，从而实现结构特征与性能特征的同时采集，有利于同时分析其性能及效能。

附图说明

图1为本发明所述红外显微系统结构示意图；

图2为本发明实施例所述红外图像及其特征点选取结构示意图；

图3为本发明实施例所述可见光图像及其参考点选取结构示意图；

图4为发明实施例所述无任何处理的红外图像和可见光图像的叠加结构示意图；

图5为本发明实施例所述红外图像和可见光图像的叠加融合图像结构示意图。

结合附图，作以下说明：

7——横向支架      2——载物台

3——目标物        4——可见显微相机

5——红外显微相机  6——Z向导杆