[发明专利]视觉机器人离线编程方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种机器人技术领域，属于半导体自动化加工领域的设备，尤其涉及一种能实现离线生成机器人运动轨迹的作业程序的视觉机器人离线编程方法和视觉机器人离线编程系统。

背景技术

人类进入21世纪，科技高速发展，已经开始积极的向地球外的领域开拓，开发太空和利用空间的能力已经成为衡量一个国家综合实力和大国地位的重要特征。机器人正逐渐成为未来开发太空的一种重要手段。遥控操作时机器人的一种重要控制方式，用遥控操作机器人进行作业能提高作业的安全性以及经济性。

目前，几乎所有的机器人操作平台都具有视觉系统，视觉系统也是实际操作过程中取得机器人运作信息的重要途径。但现有机器人的操作平台采用的视觉系统缺乏主动视觉功能，从而还需要人工的调整，重新搜索目标物，效果还不好，不能最大限度的发挥视觉系统的作用。此外，现有的视觉系统仅具有单目视觉，其视野有限，不能精确定位，从而限制了视觉系统的应用，不利于操作任务的顺利完成。

在专利号为CN101152717A的名称为“一种用于离线生成机器人切割作业程序的方法”中，该专利利用相配套开发的离线编程软件读取待加工工件的图形文件，自动编程直接生成切割机器人的控制程序。该技术方案利用已有的成熟的三维制图软件CAD构造工件的几何图形，并在图形中利用给线着色的方式对待加工部位进行标识，运行离线编程软件读取图形的IGS文件生成机器人的控制程序，传送至机器人后完成切割作业。该方法应用读取含有加工信息的工件的CAD图形的方法来直接生成完整的可用于生成加工的机器人的作业程序。但是，该技术方案中，根据生成的CAD图，需要被机器人加工的部位要用颜色线标识出，而且需用约定好的不同的颜色标识出来，这样明显增加了工作量，而且精确度不够高。

在专利号为CN101698299A名称为“一种用于气浮机械臂遥操作的三目视觉装置”的专利中，本专利根据三目视觉摄像头中三个摄像头的相对位置关系和目标物体在三个摄像头图像界面中的位置坐标，计算出目标物体到三目视觉摄像头重主摄像头得深度信息，从而提供给遥操作人员进行辅助决策。本技术方案，不对目标物体进行精确定位。

集成电路(IC)是电子信息产业的核心，是推动国民经济和社会信息化发展的最主要的高新技术之一，一个国家半导体行业的先进程度显示了这个国家高新技术的先进程度。洁净机器人是用于半导体生产中负责在不同的生产工序中搬运晶圆的任务，像日本、韩国和台湾等半导体工业发达的国家和地区已经在20世纪八九十年代研发了自己的IC机器人。国家在十五“863”计划中，将集成电路制造装备列入了重大专项计划，实现我国集成电路制造装备的局部突破和IC装备产业的跨越式发展。在晶圆自动化生产线上，晶圆托盘一般放置在机器人机械手臂的末端，由机器人去完成晶圆的传输。

传统的机器人作业程序的生成是车间现场由操作人员一边操纵机器人在工件表面示教特征点，一边在示教编程器上编制程序的方法完成。传统的示教方法由于需要较多的人的参与，即使操作者有较高的技能也会有不同程度的误差存在。如选点是否合理、示教点的准确与否、工具与工件的夹角是否准确等问题都可能导致实际工件加工时产生较大的误差。另外，工件越复杂，需要示教点就越多，往往在示教程序时就需要投入较多的时间，导致机器人的使用效率不够高。总之，这种示教方式存在诸多的缺点：1、机器人在示教过程中不能工作，影响工作效率；2、示教过程中需要工作人员在机器人附近进行引导，而洁净机器人是需要工作在一定洁净度等级的洁净环境中，工作人员的进入会在一定程度上给洁净室带来污染；3、工作人员在对机器人示教的过程中，若出现失误会导致机器人手臂与人发生碰撞，给机器人结构和工作人员带来伤害。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种实现对机器人运动轨迹进行离线编程的方法，通过该机器人，自动完成晶圆传输等工作，减少了人工的介入，避免了工作人员给洁净室等带来一定程度的污染等。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是提供一种视觉机器人离线编程方法，包括以下步骤：

S100：设定机器人各轴的旋转角度作为运动的约束条件；

S200：应用摄像机采集目标图像；

S300：应用采集的图像，提取目标的边缘和顶点信息；

S400：应用目标的边缘和顶点信息构建目标的三维模型；

S500：应用目标的三维模型生成目标模型的点云数据；

S600：机器人获取晶圆片的存放位置的坐标信息；