[发明专利]一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板无效

专利信息
申请号: 201210004980.3 申请日: 2012-01-05
公开(公告)号: CN102569625A 公开(公告)日: 2012-07-11
发明(设计)人: 沈常宇;金尚忠;李萍;钟川;褚金雷;邹新;牟晟 申请(专利权)人: 中国计量学院
主分类号: H01L33/64 分类号: H01L33/64;H01L33/62
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 大功率 led 散热 铜线 碳化硅 陶瓷
【权利要求书】:

1.一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:由铝碳化硅层(1)、铜铝氧化物层(2)和铜线路(3)组成;氧化铝层(1)上为铜铝氧化物层(2),铜铝氧化物层(2)上为铜线路(3);铜线路(2)之间分隔距离范围为0.1~1mm;铜线路(2)的宽度范围为200微米~1000微米,铜线路(2)的高度范围为0.01mm~2mm。

2.根据权利要求1所述一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于包括以下制备步骤:

①称取试剂(SiO2、焦炭和助熔剂),将这些组分充分混匀;

②将上述混合物置于高温炉中煅烧,煅烧温度为1800~2100℃,煅烧时间为2~4小时;

③将上述烧结物冷却,粉碎,研磨过筛,细度为800~1000目;

④用50~100℃去离子水洗涤过滤,100~150℃温度下烘干,即得到多孔、晶碳化硅;

⑤将铝块高温熔融成铝液,按化学式Alx(SiC)y配比,在氮气气氛保护下,与多孔、晶SiC在600~1000℃高温及一定压力下浸渗,形成Alx(SiC)y,x和y的取值范围分别为0.8~1,0.6~0.8。

⑥将上述所得的Alx(SiC)y与助熔剂、粘结剂、分散剂混合置于高温炉中煅烧,冷却后研磨,用喷雾干燥方法形成Alx(SiC)y粉体,将其与多层石墨制成的隔离片依次排列,形成多层元胚,再通过真空热压,形成Alx(SiC)y陶瓷基板。

⑦在上述Alx(SiC)y陶瓷基板上覆上铜金属波片,经高温加热,使铜金属与铝碳化硅产生共晶熔体,自下而上形成铝碳化硅陶瓷基板层、铜铝氧化物层和铜层;然后采用刻蚀方法,蚀刻出LED芯片用的导电铜线路;得到覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板。

3.根据权利要求2所述一种大功率LED用铜电极氧化铝陶瓷基板制备方法,其特征在于:步骤①中混匀的过程中可以加入适量的无水乙醇,以使其充分混合均匀。

4.根据权利要求2所述的一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:步骤②中烧结温度升高的速率为50~100℃/小时。

5.根据权利要求2所述的一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:步骤⑥的混合原料中添加重量为原料总重量的2~5%的助熔剂、粘结剂、分散剂,所述的助熔剂为NH4Cl,BaF,SrF2中的一种或一种以上,所述的粘结剂为聚乙烯醇聚丁醛树脂,所述的分散剂为鱼油,邻苯二甲酸二丁脂中的一种或一种以上。

6.根据权利要求2所述的一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:步骤⑦中的陶瓷基板层、铜铝氧化物层和铜层的厚度范围分别为1~4mm,0.01~0.08mm和0.1~1.5mm;步骤⑥中的真空热压的压力范围为2MPa~5MPa。

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