[发明专利]一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板无效
申请号: | 201210004980.3 | 申请日: | 2012-01-05 |
公开(公告)号: | CN102569625A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 沈常宇;金尚忠;李萍;钟川;褚金雷;邹新;牟晟 | 申请(专利权)人: | 中国计量学院 |
主分类号: | H01L33/64 | 分类号: | H01L33/64;H01L33/62 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310018 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大功率 led 散热 铜线 碳化硅 陶瓷 | ||
1.一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:由铝碳化硅层(1)、铜铝氧化物层(2)和铜线路(3)组成;氧化铝层(1)上为铜铝氧化物层(2),铜铝氧化物层(2)上为铜线路(3);铜线路(2)之间分隔距离范围为0.1~1mm;铜线路(2)的宽度范围为200微米~1000微米,铜线路(2)的高度范围为0.01mm~2mm。
2.根据权利要求1所述一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于包括以下制备步骤:
①称取试剂(SiO2、焦炭和助熔剂),将这些组分充分混匀;
②将上述混合物置于高温炉中煅烧,煅烧温度为1800~2100℃,煅烧时间为2~4小时;
③将上述烧结物冷却,粉碎,研磨过筛,细度为800~1000目;
④用50~100℃去离子水洗涤过滤,100~150℃温度下烘干,即得到多孔、晶碳化硅;
⑤将铝块高温熔融成铝液,按化学式Alx(SiC)y配比,在氮气气氛保护下,与多孔、晶SiC在600~1000℃高温及一定压力下浸渗,形成Alx(SiC)y,x和y的取值范围分别为0.8~1,0.6~0.8。
⑥将上述所得的Alx(SiC)y与助熔剂、粘结剂、分散剂混合置于高温炉中煅烧,冷却后研磨,用喷雾干燥方法形成Alx(SiC)y粉体,将其与多层石墨制成的隔离片依次排列,形成多层元胚,再通过真空热压,形成Alx(SiC)y陶瓷基板。
⑦在上述Alx(SiC)y陶瓷基板上覆上铜金属波片,经高温加热,使铜金属与铝碳化硅产生共晶熔体,自下而上形成铝碳化硅陶瓷基板层、铜铝氧化物层和铜层;然后采用刻蚀方法,蚀刻出LED芯片用的导电铜线路;得到覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板。
3.根据权利要求2所述一种大功率LED用铜电极氧化铝陶瓷基板制备方法,其特征在于:步骤①中混匀的过程中可以加入适量的无水乙醇,以使其充分混合均匀。
4.根据权利要求2所述的一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:步骤②中烧结温度升高的速率为50~100℃/小时。
5.根据权利要求2所述的一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:步骤⑥的混合原料中添加重量为原料总重量的2~5%的助熔剂、粘结剂、分散剂,所述的助熔剂为NH4Cl,BaF,SrF2中的一种或一种以上,所述的粘结剂为聚乙烯醇聚丁醛树脂,所述的分散剂为鱼油,邻苯二甲酸二丁脂中的一种或一种以上。
6.根据权利要求2所述的一种大功率LED散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板,其特征在于:步骤⑦中的陶瓷基板层、铜铝氧化物层和铜层的厚度范围分别为1~4mm,0.01~0.08mm和0.1~1.5mm;步骤⑥中的真空热压的压力范围为2MPa~5MPa。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量学院,未经中国计量学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210004980.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。