[发明专利]气闸和带有气闸的涂覆装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于分离两个气室的气闸(Gasschleuse)，该气闸使得可以以最小的空间消耗在不接触产品/离析物（Edukt）/输送系统的情况下实现气体分离。根据本发明的气闸的特征在于，集成用于测量至少一个物理和/或化学特性的测量室。本发明同样涉及一种涂覆装置，其包括根据本发明的气闸。此外，给出了根据本发明的气闸的使用可能性。

背景技术

为了减小成本，希望如此设计涂覆设备，即，连续地产生离析物和产品流。然而，在很多领域中，在设备中的过程气体分离以及环境与过程气体的分离存在问题。

在必须抛弃传统密封方式的连续的设备中主要出现以下困难：

a)必须避免不同过程步骤中的气体混合，因为这可使产品无法使用（例如可明显影响层结构并破坏产品）。

b)大多有毒的和/或爆炸性的过程气体必须可靠地与环境分离，以避免安全风险（毒化、爆炸）。

c)气体的分离必须是在不必测量在有毒的和/或爆炸性的气体中的压力的情况下可检测的。因此，在过程气体混合或从设备中流出之前可检测出密封方案的失效（过程中断将破坏产品，外部受保护的设备是设备结构中的重要成本因素并且必须被避免）。

d)必须保持该方案空间上紧凑，以经济地设计设备。

e)该方案不可产生磨损，以使得设备的运行时间尽可能长并且不损害产品（没有与输送系统或产品的机械接触）。

至今为止，通过传统地通过气体密封的腔室密封气室来解决所述问题（借助于机械的密封）。然而这导致，输送系统不可连续地工作并且存在磨损或损坏的危险（见要点e））。

另一可能性为使用气洗（Gasduschen）。然而在此存在的问题是，其在当前通常的形式中不具有方向性并且对于高纯度过程无法产生足够宽容的且经济的气体分离。这导致上述问题a）、b）和c）并且导致设备的低运行时间。

发明内容

因此，基于此，本发明的目的为，实现带有最小的空间消耗的气闸，利用该气闸可在不必为此分析在相应腔中的过程气体情况下实现对气闸功能的检查。此外应实现，可在不接触产品/离析物/输送系统的情况下实现气体分离。

在气闸方面，该目的通过权利要求1所述的特征实现。权利要求14提供了根据本发明的涂覆装置，其包括根据本发明的气闸。权利要求16给出了根据本发明的气闸的使用目的。在此，从属权利要求给出了有利的改进方案。

由此，根据本发明提供一种用于分离两个气室的气闸，该气闸包括

a）至少一个流入体，该流入体具有至少一个用于气体的流入通道，该流入通道通入流入体的第一侧中，

b）与流入体的该第一侧隔开间距布置的壁，其中，在壁和流入体之间形成与流入通道流体连通的间隙，

c)至少两个用于气体的流出孔，其与所述间隙流体连通，

其中，在限定流入体的第一侧中和/或在壁的面对流入体的第一侧的侧面中存在至少一个用于测量至少一个物理和/或化学特性的测量室。

在此，该壁例如可构造成板。同样可能的是，壁具有一定的弯曲，例如是管的壁。在此，在最后提及的情况中流入体优选地如此构造，即，其面对间隙的边界同样是弯曲的，从而间隙在每个部位处具有相同的宽度。

在此，壁也可构造成可相对于流入体运动，从而例如在流入体和壁之间存在的间隙可在其尺寸上变化、例如可变宽或变窄。例如，板形式的壁可构造成可相对于流入体运动；对于流入体环形地绕管构造的情况（其中，壁构成外部的管边界），也可设想，流入体例如可通过调整元件在其周长上变化（垂直的运动性），从而由此可改变间隙的宽度。

此外备选地或附加地同样可能的是，壁或板构造成可在一个方向上相对于流入体运动，在该方向上间隙的宽度不变（水平的运动性）。在这种类型的设计方案中，壁在相对于以上描述的垂直的运动方向错位90°的方向上构造成可动的。

此外可能的是，壁构造成连续的，然而同样也可存在壁的中断部。

由此，本发明的原理在于，

-在待密封的部位处实现例如纵向间隙，通过该纵向间隙输送惰性气体（或者对于过程和环境无危害的气体），其与过程气体或环境气体相反地流动。在此，该惰性气体或无危害的气体的流动速度或部分压力如此高，即，过程气体或环境气体的彼此扩散在闸长度上被抑制在预定的极限之内。该彼此扩散具有指数的曲线，也就是说，其仅仅可被抑制/降低，但是不可在严格意义上被“避免”。实际上可以实现＞10⁶（也可能更高）的变稀比例，其在技术的意义上即为“避免”流出。