[实用新型]MEMS光阀、具有该MEMS光阀的显示装置

权利要求书

1.一种MEMS光阀，其特征在于，包括：

层叠放置的固定光栅、第一可动光栅和第二可动光栅；

第一电极，其与所述第一可动光栅相连；

第二电极，其与所述第二可动光栅相连；

第二电极与第一电极相对设置，当第一电极和第二电极带异种电荷时，第一电极和第二电极相向移动吸合，则带动第一可动光栅和第二可动光栅相向移动，使得固定光栅透光或者不透光。

2.根据权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述第一可动光栅、第二可动光栅为矩形，所述第一电极和第二电极位于第一可动光栅和第二可动光栅移动方向的延长线上，位于第一可动光栅和第二可动光栅的同一侧，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。

3.根据权利要求2所述MEMS光阀，其特征在于，

所述固定光栅具有多个开孔，所述第一可动光栅具有多个开孔，所述第二可动光栅具有多个开孔，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔均为矩形；

所述固定光栅的开孔之间的距离为固定光栅开孔宽度的一半；

所述第一可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第一可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同；

所述第二可动光栅的开孔和固定光栅的开孔宽度相同，第二可动光栅的开孔之间的距离和固定光栅开孔之间的距离相同。

4.根据权利要求3所述的MEMS光阀，其特征在于，当所述第一电极和第二电极不带电荷或者带同种电荷，则所述固定光栅的每一个开孔一半宽度被第一可动光栅遮挡，另一半宽度被第二可动光栅遮挡；当第一电极和第二电极带异种电荷，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔、第二可动光栅的开孔三者重合。

5.根据权利要求4所述的MEMS光阀，其特征在于，在第一可动光栅和第二可动光栅相对的两侧都具有第一电极和第二电极。

6.根据权利要求1所述的MEMS光阀，其特征在于，所述第一可动光栅、第二可动光栅为圆形，所述固定光栅的开孔、第一可动光栅的开孔和第二可动光栅的开孔为围绕圆心排列的开孔阵列，所述第一电极位于第一可动光栅半径的延长线上，所述第二电极位于第二可动光栅半径的延长线上，且第一电极和第二电极两者的相对面垂直于固定光栅的表面，在第一电极和第二电极的带动下，第一可动光栅和第二可动光栅绕圆心旋转。

7.根据权利要求5或6所述的MEMS光阀，其特征在于，还包括：

基底，所述固定光栅位于基底上；

第一弹性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第一弹性悬臂面对第一可动光栅的侧面具有第一导电层，所述第一导电层作为所述第一电极；

第二弹性悬臂，为弧形或类弧形的折线形，所述第二弹性悬臂面对第二可动光栅的侧面具有第二导电层，所述第二导电层作为所述第二电极；

所述第一弹性悬臂和第二弹性悬臂相对设置，第一弹性悬臂的两端和第二弹性悬臂的两端相互靠近且与固定光栅或者基底固定连接，第一弹性悬臂与第一可动光栅通过悬杆连接，第二弹性悬臂与第二可动光栅通过悬杆连接，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。

8.根据权利要求7所述的MEMS光阀，其特征在于，所述固定光栅或所述基底上具有第一插塞和第二插塞，所述第一导电层与所述第一插塞电连接，所述第二导电层与所述第二插塞电连接；

所述第一弹性悬臂的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；

所述第二弹性悬臂的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。

9.根据权利要求5或6所述的MEMS光阀，其特征在于，

还包括：基底，所述固定光栅位于基底上；

第一电极和第二电极为弧形或类弧形的折线形；

所述第一电极和第二电极相对设置，第一电极和第二电极的两端相互靠近且与固定光栅或者基底固定连接，第一电极与第一可动光栅通过悬杆连接，第二电极与第二可动光栅通过悬杆连接，且第一电极和第二电极的相对面垂直于固定光栅的表面。

10.根据权利要求9所述的MEMS光阀，其特征在于，所述固定光栅或所述基底上具有第一插塞和第二插塞；

所述第一电极的两端通过第一插塞与所述固定光栅或基底固定连接；

所述第二电极的两端通过第二插塞与所述固定光栅或基底固定连接。

11.一种显示装置，其特征在于，包括，基底，位于基底内的背光源，以及位于基底上的权利要求1-10任意一项所述的MEMS光阀。