[实用新型]晶片规整机构有效
申请号: | 201120352222.1 | 申请日: | 2011-09-13 |
公开(公告)号: | CN202217646U | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 庄磊;陈黎;宁冬秀 | 申请(专利权)人: | ABB技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 11012 | 代理人: | 王昭林;崔华 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 瑞士;CH |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 规整 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶片规整机构,更具体地说,涉及对放置在片架中的晶片执行规整的晶片规整机构。
背景技术
为了批量取送晶片,通常采用其中开有多条槽的片架收纳多张晶片,晶片置于槽中。通常,为不同尺寸的晶片配置与晶片的尺寸相配合的槽的片架。为了取放方便,需要晶片规整机构对片架中的多个晶片规整,以便使之整齐地排列。
通常,某一特定的片架仅用于收纳某一规定尺寸的晶片。而对于不同尺寸的晶片,需要使用不同的片架。相应地,晶片规整机构用于规整该特定尺寸的晶片。
对于处理不同尺寸的晶片,现有的片架及晶片规整机构至少带来如下技术问题:需要不同的片架及晶片规整机构,由此系统复杂而不紧凑。
实用新型内容
针对上述技术问题,本实用新型提供一种晶片规整机构,包括:基座;其上分别开有多条第一槽和多条第二槽的第一板和第二板片架,其中第一板的第一槽和第二板的第二槽在第一方向上以第一距离的间隔对置并且彼此在第二方向上平行;驱动第一板和/或第二板来改变第一距离的第一驱动器,其固定在基座上;绕第三方向旋转的摆杆,其枢接在基座上;驱动摆杆旋转的第二驱动器,其固定在基座上;其中第一、第二和第三方向彼此基本垂直,以便当摆杆旋转时其可推动分别嵌入对置的第一槽和第二槽的晶片延第二方向移动。
基于上述结构,对于不同尺寸的晶片可采用该晶片规整机构,由此简化了系统复杂性并且使之紧凑。
附图说明
图1示出根据本实用新型的晶片规整机构的实施例;
图2示出根据本实用新型的晶片规整机构的实施例;和
图3示出根据本实用新型的晶片规整机构的实施例。
具体实施方式
图1示出根据本实用新型的晶片规整机构的实施例。如图1所示,晶片规整机构1包括:基座10,片架11和推杆14。片架11包括相互对置的第一板110和第二板111,在第一板110和第二板111分别开有多条第一槽1100和多条第二槽1110,第一槽1100和第二槽1110延X方向彼此相互平行并且延Y方向相距第一距离。第一槽1100和第二槽1110延X方向的长度被设定为大于多种晶片延X方向的可能的长度;例如,如果晶片为圆形,则第一槽1100和第二槽1110延X方向的长度大于晶片的直径;如果晶片为矩形,则第一槽1100和第二槽1110延X方向的长度大于嵌入第一槽1100和第二槽1110之间的晶片延X方向的边长。通过采用上述结构,片架11的相互对置的第一槽1100和第二槽1110可以在X方向上收纳满足上述要求的各种晶片。
晶片规整机构1还包括驱动第一板110和/或第二板111来改变上述延Y方向的第一距离的第一驱动器13,第一驱动器13固定在基座10上。通过采用上述机构,第一板110和第二板111之间的第一距离可调;例如,如果晶片为圆形,则第一槽1100和第二槽1110之间延Y方向的第一距离可调整为大于晶片的直径;如果晶片为矩形,则第一槽1100和第二槽1110之间延Y方向的第一距离可调整为大于嵌入第一槽1100和第二槽1110的晶片延Y方向的边长;由此,片架11的相互对置的第一槽1100和第二槽1110可以在Y方向上收纳满足上述要求的各种晶片。Y方向上晶片归整机构1可驱动第一板110和/或第二板111延Y方向对中滑动,并且能精确地按晶片的宽度停留在Y向的任意位置,以让工件进入片架11,以便片架的托槽以托持晶片。
晶片规整机构1还包括枢接在基座10上并且可绕Z方向旋转的推杆14。推杆14的延Z方向的长度以能够跨越第一槽1100和第二槽1110在Z方向上的范围为宜,以便在第二驱动器15的驱动下绕Z方向朝嵌入第一槽1100和第二槽1110之间的晶片旋转并且在X方向上规整晶片;并且在将晶片嵌入第一槽1100和第二槽1110之前,朝远离第一槽1100和第二槽1110的方向旋转,以便为将晶片嵌入槽中让开通道。
此外,X、Y和Z方向基本垂直。
晶片规整机构1还包括结构架12,基座10可在Z方向上沿结构架12滑动。这有利于调整片架11在Z方向上的位置,并有利于向片架取放晶片。该驱动结构可为电机驱动丝杠带动基座10在Z方向上沿结构架12滑动,基座10可精确地停留在Z方向上任何位置。送料机构与上游、下游设备(机器人、输送线或其他自动化设备)相连,实现晶片工件的转运。结构架12可采用铝型材拼接或钢管焊接结构架,其上装有上、下运动位置限位结构,并且结构架12上装有传感器,感测滑块运动位置。
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