[实用新型]晶圆用的平贴装置

权利要求书

1.一种晶圆用的平贴装置，其特征在于，该晶圆用的平贴装置包括：

一吸附机构，其具有至少一可轴向移动的位移杆，该位移杆的一端设置一软质弹性体，用来吸附一晶圆；

一抽真空平台，位于该吸附机构下方，该抽真空平台用来压掣该晶圆，并承接该晶圆以及对该晶圆抽真空；

一升降滑台，其内设有一马达，该升降滑台供该抽真空平台滑动配合，用以控制该抽真空平台的起降。

2.如权利要求1所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述位移杆受自重控制。

3.如权利要求2所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述吸附机构具有一基架，该基架上设置至少一轴承，所述位移杆轴向穿设于该轴承中，所述位移杆的另一端连结一真空源。

4.如权利要求1所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述软质弹性体包含呈一体结构的一接触端、一颈部与一基部，该基部与所述位移杆连接，该颈部位于该基部下方，该接触端位于该颈部下方，该颈部的径向尺寸小于该基部及该接触端的径向尺寸，该接触端用来吸附所述晶圆。

5.如权利要求4所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述接触端呈盘状。

6.如权利要求4所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述软质弹性体具有当所述颈部愈具弹性，所述接触端能偏摆的角度愈大的特性，使所述接触端能适应各种不同表面幅度的晶圆。

7.如权利要求1所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述抽真空平台具有一气道，以及多个与该气道相通的槽道，该气道与一真空源相连。

8.如权利要求1或7所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述升降滑台上具有一滑座及一对称滑槽，该滑座供设置所述抽真空平台，该滑座受所述马达的驱动而滑动配合于该滑槽。

9.如权利要求1所述的晶圆用的平贴装置，其特征在于，所述位移杆具有四根。