[实用新型]石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架有效
申请号: | 201120201344.0 | 申请日: | 2011-06-15 |
公开(公告)号: | CN202131368U | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 王慧勇;魏唯;吕文利;刘红江 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;H01L31/18 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 自动 装卸 设备 上料用片盒架 | ||
1.一种石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架,包括互相平行的上底板(3)和下底板(1),并在上底板(3)与下底板(1)之间设有至少两根垂直于上底板(3)的支撑杆(4),其特征是,所述支撑杆(4)之间设有至少一个支撑片盒(9)的托板(2),所述托板(2)平行于上底板(3),且托板(2)上设有固定片盒(9)的卡位槽(7);所述上底板(3)和下底板(1)分别设有固定片盒架的定位孔。
2.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架,其特征是,上底板(3)与下底板(1)之间设有可提放片盒架的拉杆(5)。
3.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架,其特征是,所述卡位槽(7)为两侧设有凹槽的“H”形,且卡位槽(7)上的凹槽与片盒(9)的上端面或下端面的凸起相配合。
4.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架,其特征是,所述上底板(3)的定位孔(6)的圆心为上底板(3)的中心。
5.根据权利要求1所述石墨舟自动装卸片设备上料用片盒架,其特征是,所述下底板(1)的定位孔(8)的圆心为下底板(1)的中心。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的