[实用新型]一种全自动硅片翻转叠双片插片机

权利要求书

1.一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：其包括机架、100片导引装置及石英舟载具、50片花篮及导引装置、100片驱动机芯、50片驱动机芯、翻片装置、伸缩皮带线、硅片校正装置、输送线、卸篮托架，其中，输送线分四段独立输送硅片校正装置设在第二段及第四段输送线两侧，伸缩皮带线安装在第四段输送线内，并可伸入石英舟载具内。

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述100片驱动机芯包括：调角机构、升降机构、载具定位机构。

3.根据权利要求2所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述50片驱动机芯包括：升降机构、花篮定位机构。

4.根据权利要求3所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述硅片校正装置包括：驱动气缸、校正导向板。

5.根据权利要求4所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述伸缩皮带线包括：气缸组件、皮带线组件、皮带线驱动组件。

6.根据权利要求5所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述翻片装置包括：翻转机构、吸盘抓取机构、真空气路。

7.根据权利要求6所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述卸篮托架包括：托盘、旋转臂、锁紧机构。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述100片导引装置及石英舟载具(2)上至少设有一组用于检测载具内硅片对射传感器；所述100片驱动机芯(4)上至少设有一组用于检测石英舟载具的传感器；所述50片驱动机芯(5)上至少设有一组用于检测花篮的传感器。

9.根据权利要求8所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述翻片装置(6)上设有可360°旋转的旋转机构。

10.根据权利要求9所述的一种全自动硅片翻转叠双片插片机，其特征在于：所述旋转机构上安装有数个吸盘。