[实用新型]一种节能型多晶硅还原炉无效
| 申请号： | 201120133015.7 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201990494U | 公开（公告）日： | 2011-09-28 |
| 发明（设计）人： | 张春林;浦全福;孙银祥;刘军;陈艳梅;陈国奇;杨君;潘伦桃 | 申请（专利权）人： | 宁夏阳光硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人： | 叶学军 |
| 地址： | 753202 宁夏回族自治区*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 节能型 多晶 还原 | ||
【权利要求书】：
1.一种节能型多晶硅还原炉，包括钟罩型炉壁，设置在炉壁下方的底盘，设置在底盘上的电极和安装在电极上的硅芯棒，底盘上还设置有原料气体进入口和尾气排气口，其特征是：上述底盘上设置有一个与炉壁同心且将硅芯棒罩住的圆筒形钟罩式隔热屏，该隔热屏是由圆筒部和与所述圆筒部相接的有通孔的顶部组成；上述原料气体进入口设置在隔热屏的圆筒部与炉壁之间的底盘上，尾气排气口设在底盘中心。
2.按照权利要求1所述的节能型多晶硅还原炉，其特征是：上述原料气体进入口至少有8个，且均匀分布在与还原炉同心的同一圆周上。
3.按照权利要求1所述的节能型多晶硅还原炉，其特征是：所述隔热屏圆筒部的内径大于生长后多晶硅棒最大占位直径至少5cm，优选为5～15 cm，隔热屏圆筒部的高度高于生长后多晶硅棒最大占位高度至少10cm，优选为10～40cm。
4.按照权利要求1所述的节能型多晶硅还原炉，其特征是：所述通孔至少4个，均匀分布在隔热屏顶部。
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