[实用新型]一种石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域，尤其涉及一种生产太阳能电池片使用的石墨舟。

背景技术

石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。现有的石墨舟包括：石墨舟片、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨隔块等石墨配件。其工作原理为，将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。然后，将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

现有的石墨舟，由于石墨舟片数量有限，而使得石墨舟的载片量受到限制，生产效率低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种可提高石墨舟载片量的石墨舟。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种石墨舟，包括石墨舟片、上电极以及与所述上电极对应设置的下电极，所述下电极两端设有支撑脚，支撑脚上部紧靠下电极的槽垫块，所述石墨舟片至少为15片；两个所述支撑脚之间的距离为与真空镀膜设备腔体匹配的预定距离；所述石墨舟片之间的间距为10-13mm。

优选地，所述石墨舟片包括两外片、与下电极导电连接的中间片、与下电极导电连接的下电极片以及与上电极导电连接的上电极片，石墨舟片之间通过陶瓷杆连接。

优选地，所述下电极片与上电极片间隔排列。

优选地，还包括陶瓷套，穿套于所述陶瓷杆上，位于石墨舟片之间。

优选地，所述石墨舟片为15片，包括两外片、一中间片、六个上电极片以及六个下电极片；所述两外片均与上电极导电连接。

优选地，所述支撑脚外侧中部设有搁置与所述外片相邻的下电极片的第一台阶。

优选地，所述石墨舟片为17片，包括两外片、一中间片、八个上电极片以及六个下电极片；所述两外片均与下电极导电连接；所述陶瓷套高度为10mm。

优选地，所述支撑脚中部设有容置所述槽垫块的第二台阶。

优选地，所述石墨舟片为19片，包括两外片、一中间片、八个上电极片以及八个下电极片；所述两外片均与上电极导电连接。

优选地，所述石墨舟片除外片外，对应放置硅片的位置镂空。

本实用新型提出的一种石墨舟，通过对现有的石墨舟进行改装，具体对陶瓷套的高度以及石墨隔块等配件进行改进设计，增加石墨舟的舟片数量但不增加石墨舟的总体宽度，使其既能够增加载片数量又可以符合PECVD真空镀膜设备的使用要求，进而提高硅片镀减反射膜生产效率。

附图说明

图1是本实用新型石墨舟第一实施例的结构示意图；

图2是图1所示的石墨舟的支撑脚的结构示意图；

图3是本实用新型石墨舟第二实施例的结构示意图；

图4是图3所示的石墨舟的支撑脚的结构示意图。

为了使本实用新型的技术方案更加清楚、明了，下面将结合附图作进一步详述。

具体实施方式

本实用新型技术方案总体思路是：对石墨舟的陶瓷套的高度以及石墨隔块等配件进行改进设计，增加石墨舟的舟片数量但不增加石墨舟的总体宽度，使其既能够增加载片数量又可以符合PECVD真空镀膜设备的使用要求。

以下将结合附图及实施例，对实现实用新型目的的技术方案作详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

现有的石墨舟，由于其所能承载的石墨舟片数量固定且较少，而每个石墨舟片上可放硅片数固定，因此，其生产效率相对较低。

在每个舟片上可放硅片数固定的情况下，只有通过增加石墨舟片数，才能提高石墨舟的载片量。考虑到石墨舟需要放到PECVD真空镀膜设备中工作，受PECVD真空镀膜设备上管径尺寸的制约，石墨舟并不能无限扩大，所以必须对其陶瓷套的高度以及石墨隔块等配件进行改进，以保证在增加石墨舟的舟片数量的同时不增加其总体宽度，使其既能够增加载片数量又可以符合PECVD真空镀膜设备的使用要求。