[实用新型]一种石墨舟

权利要求书

1.一种石墨舟，包括石墨舟片、上电极以及与所述上电极对应设置的下电极，所述下电极两端设有支撑脚，支撑脚上部紧靠下电极的槽垫块，其特征在于，所述石墨舟片至少为15片；两个所述支撑脚之间的距离为与真空镀膜设备腔体匹配的预定距离；所述石墨舟片之间的间距为10-13mm。

2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片包括两外片、与下电极导电连接的中间片、与下电极导电连接的下电极片以及与上电极导电连接的上电极片，石墨舟片之间通过陶瓷杆连接。

3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述下电极片与上电极片间隔排列。

4.根据权利要求3所述的石墨舟，其特征在于，还包括陶瓷套，穿套于所述陶瓷杆上，位于石墨舟片之间。

5.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片为15片，包括两外片、一中间片、六个上电极片以及六个下电极片；所述两外片均与上电极导电连接。

6.根据权利要求5所述的石墨舟，其特征在于，所述支撑脚外侧中部设有搁置与所述外片相邻的下电极片的第一台阶。

7.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片为17片，包括两外片、一中间片、八个上电极片以及六个下电极片；所述两外片均与下电极导电连接；所述陶瓷套高度为10mm。

8.根据权利要求7所述的石墨舟，其特征在于，所述支撑脚中部设有容置所述槽垫块的第二台阶。

9.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片为19片，包括两外片、一中间片、八个上电极片以及八个下电极片；所述两外片均与上电极导电连接。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片除外片外，对应放置硅片的位置镂空。