[发明专利]加热系统

权利要求书

1.一种加热系统，其特征在于，包含：

至少一加热元件；

至少一电极，与该加热元件的一端电性耦合于一耦合处；以及

一吹净气体模块，该吹净气体模块围绕该耦合处，以避免腐蚀性气体接触该耦合处。

2.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，该加热元件包含一平面电阻片以及两个垂直接线端各别连接该平面电阻片的两端。

3.如权利要求2所述的加热系统，其特征在于，该平面电阻片以及两个该垂直接线端为一体成型。

4.如权利要求2所述的加热系统，其特征在于，该平面电阻片以及两个该垂直接线端为分离部件。

5.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，还包含一导电固定模块，用以固定该加热元件与该电极，并提供两者导电接触面积。

6.如权利要求5所述的加热系统，其特征在于，该导电固定模块包含一螺丝锁固元件。

7.如权利要求5所述的加热系统，其特征在于，该导电固定模块包含至少一夹持固定元件。

8.如权利要求5所述的加热系统，其特征在于，该导电固定模块包含一第一夹持固定元件以夹持该加热元件，一第二夹持固定元件以夹持该电极，该第一夹持固定元件与该第二夹持固定元件通过一连接元件彼此固定。

9.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，具有多个加热元件与多个电极，每一电极与每一加热元件的一端电性耦合于一耦合处。

10.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，该吹净气体模块具有至少一气体通道，每一气体通道围绕一耦合处。

11.如权利要求9所述的加热系统，其特征在于，还包含一冷却模块，设置于该加热元件与该吹净气体模块之间。

12.如权利要求11所述的加热系统，其特征在于，该冷却模块与该吹净气体模块为一体成型。

13.如权利要求11所述的加热系统，其特征在于，该冷却模块与该吹净气体模块为分离部件。

14.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，该吹净气体模块还包含一第一出气口，该第一出气口围绕邻近该耦合处的该加热元件，以便于导引吹净气体流经该耦合处后再由该加热元件一侧流出。

15.如权利要求1所述的加热系统，其特征在于，该吹净气体模块还包含一第二出气口，该第二出气口围绕邻近该耦合处的该电极，以便于导引吹净气体流经该耦合处后再由该电极一侧流出。