[发明专利]一种可提高PN结反向击穿电压的装置有效
申请号: | 201110448439.7 | 申请日: | 2011-12-29 |
公开(公告)号: | CN102456719B | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 秦明;张睿 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/36 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人: | 王鹏翔 |
地址: | 214135 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 提高 pn 反向 击穿 电压 装置 | ||
1.一种可提高PN结反向击穿电压的装置,其特征在于,包括第一 高阻半导体层(1)、与第一高阻半导体层(1)导电类型相同的低阻半导 体层(2)、与低阻半导体层(2)导电类型相反的第二低阻半导体层(3) 和设置在第一高阻半导体层(1)两侧面的第一绝缘抗反射涂层(4)及 第二绝缘抗反射涂层(5);
所述第二低阻半导体层(3)位于第一绝缘抗反射涂层(4)的内侧 面,所述低阻半导体层(2)位于第二低阻半导体层(3)的另一侧面正 下方;
所述第二低阻半导体层(3)与低阻半导体层(2)形成主PN结,所 述第二低阻半导体层(3)与第一高阻半导体层(1)形成辅PN结,所述 主PN结与辅PN结相互并联;
所述低阻半导体层(2)的掺杂浓度小于第二低阻半导体层(3)的 掺杂浓度,所述第一高阻半导体层(1)的掺杂浓度小于低阻半导体层(2) 的掺杂浓度;
所述第一绝缘抗反射涂层(4)与第二低阻半导体层(3)的接触面 积小于第一绝缘抗反射涂层(4)的面积,所述第二低阻半导体层(3) 与低阻半导体层(2)的接触面积小于第一绝缘抗反射涂层(4)与第二 低阻半导体层(3)的接触面积;
所述第二低阻半导体层(3)的深度小于低阻半导体层(2)的深度;
所述装置通过两次扩散形成,第一次对第一高阻半导体层(1)进行 同型扩散用来形成PN结的一个区,第二次扩散区域完全覆盖第一次扩散 的区域,但结深比第一次扩散浅。
2.根据权利要求1所述的可提高PN结反向击穿电压的装置,其特 征在于,所述第一高阻半导体层(1)、低阻半导体层(2)和第二低阻半 导体层(3)采用的是普通硅片。
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