[发明专利]一种微通道光学玻璃及其制作方法

权利要求书

1.一种微通道光学玻璃，其特征在于：包括相互贴合的基体一(1)和基体二(2)，所述基体一(1)和基体二(2)中其中至少一个上设置有凹槽(3)，所述凹槽(3)内填充有金刚石膜层(4)。

2.按照权利要求1所述的一种微通道光学玻璃，其特征在于：所述凹槽(3)的数量至少为两个。

3.按照权利要求1或2所述的一种微通道光学玻璃，其特征在于：所述凹槽(3)为V字形凹槽或U字形凹槽。

4.按照权利要求1或2所述的一种微通道光学玻璃，其特征在于：所述基体一(1)和基体二(2)均为非金属材料、金属材料、金属合金材料、高分子材料、陶瓷材料或玻璃材料。

5.按照权利要求1或2所述的一种微通道光学玻璃，其特征在于：所述基体一(1)和基体二(2)均为融化温度小于800摄氏度的低熔点材料。

6.按照权利要求1所述的一种微通道光学玻璃的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)将基体的表面研磨后镀覆隔离膜；

2)在镀覆有隔离膜的基体的表面上加工出贯通整个基体表面的凹槽(3)，凹槽(3)处的隔离膜同时被去除；

3)在基体的表面上镀覆金刚石薄膜；

4)通过酸腐蚀将基体表面上的隔离膜去除；

5)将镀覆金刚石薄膜的基体的表面与另一基体的研磨抛光面紧密贴合，并经过键合、熔融或使用胶黏剂使两者结合为一体。

7.按照权利要求6所述的一种微通道光学玻璃的制造方法，其特征在于，在步骤2)中，在镀覆有隔离膜的基体表面上加工出贯通整个基体表面的两条或两条以上的凹槽。

8.按照权利要求6所述的一种微通道光学玻璃的制造方法，其特征在于，在步骤5)中，重复步骤1)至步骤4)加工出多个基体，基体的一面上镀覆有金刚石薄膜，基体的镀有金刚石表面的相对面研磨抛光，将镀覆金刚石薄膜的每个基体的表面与另一基体的研磨抛光面紧密贴合，将所有的基体固定在一起，然后通过键合、熔融或使用胶黏剂使所有的基体结合为一体。

9.按照权利要求6所述的一种微通道光学玻璃的制造方法，其特征在于，在步骤5)中，所述基体的融化温度小于800摄氏度。