[发明专利]沟槽刻蚀方法以及半导体器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体器件制造领域，更具体地说，本发明涉及一种沟槽刻蚀方法以及采用了该沟槽刻蚀方法的半导体器件制造方法。

背景技术

在各种半导体器件的制造过程中，一般都需要进行沟槽刻蚀，例如浅沟槽刻蚀。

一般地，在现有的沟槽刻蚀方法中，先对光刻胶进行光刻，随后利用光刻后的光刻胶图案来对硬掩膜进行刻蚀，最后利用刻蚀出来的硬掩膜图案来刻蚀沟槽。由此，光刻胶的光刻之后会定义一个光刻关键尺寸，并且在硬掩膜刻蚀之后会定义一个硬掩膜刻蚀关键尺寸，这两个关键尺寸(即，光刻关键尺寸和硬掩膜刻蚀关键尺寸)基本上就限定沟槽的最终沟槽关键尺寸。

但是，随着器件设计及制造技术的发展，以及电子设计对器件尺寸精度要求的提高，往往希望能够很精确地控制沟槽开口的关键尺寸，而上述现有技术的沟槽刻蚀方法仅仅能够粗略地限定沟槽开口关键尺寸，而不能精确控制或者动态调整沟槽开口的关键尺寸。

所以，希望能够提供一种精确控制并动态调整最终得到的关键尺寸的沟槽刻蚀方法。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够精确控制并动态调整最终得到的关键尺寸的沟槽刻蚀方法以及采用了该沟槽刻蚀方法的半导体器件制造方法。

根据本发明的第一方面，提供了一种一种沟槽刻蚀方法，其包括：衬垫氧化层形成步骤，用于在衬底上形成衬垫氧化层；硬掩膜形成步骤，用于在所述衬垫氧化层上形成硬掩膜；光刻胶层形成步骤，用于在所述硬掩膜上形成光刻胶层；光刻步骤，用于对光刻胶层进行光刻以得到光刻胶层的图案；硬掩膜刻蚀步骤，用于利用光刻步骤所得到的光刻胶层的图案对所述硬掩膜进行刻蚀以形成硬掩膜图案；光刻胶层去除步骤，利用氧气去除所述光刻胶层；以及沟槽刻蚀步骤，用于利用硬掩膜刻蚀步骤刻蚀出的所述硬掩膜图案来利用氧气刻蚀沟槽；其中，在通过控制所述沟槽刻蚀步骤中的氧气流量来控制所述沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸。

优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述硬掩膜包括第一硬掩膜层和第二硬掩膜层。

优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述硬掩膜形成步骤包括：首先在所述衬垫氧化层上形成第一硬掩膜层，然后在所述第一硬掩膜层上形成第二硬掩膜层。

优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述第一硬掩膜层由氮硅化合物组成。

优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述第二硬掩膜层由氮硅氧化合物组成。

优选地，在上述沟槽刻蚀方法中，所述沟槽刻蚀方法用于刻蚀浅沟槽。

根据本发明的第一方面，通过调节沟槽形成过程(具体地说是沟槽刻蚀步骤)中的氧气流量，可以调节对硬掩膜阻挡层侧壁的保护强弱，由此达到调节沟槽开口的关键尺寸的目的。其中，若对硬掩膜阻挡层侧壁的保护强，则沟槽开口的关键尺寸变大。若对硬掩膜阻挡层侧壁的保护弱，则沟槽开口的关键尺寸变小。由此，根据本发明第一方面的沟槽刻蚀方法，可以在光刻之后的关键尺寸以及硬掩膜刻蚀之后的关键尺寸所限定的沟槽关键尺寸的基础上进行进一步地调节，以精确控制最终得到的关键尺寸，并能够动态控制最终得到的沟槽开口关键尺寸。

根据本发明的第二方面，提供了一种半导体器件制造方法，其采用了根据本发明的第一方面所述的沟槽刻蚀方法。

由于采用了根据本发明第一方面所述的沟槽刻蚀方法，因此，本领域技术人员可以理解的是，根据本发明第二方面的半导体器件制造方法同样能够实现根据本发明的第一方面的沟槽刻蚀方法所能实现的有益技术效果。

附图说明

结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中：

图1示意性地示出了衬垫氧化层形成步骤后得到的半导体器件的结构。

图2示意性地示出了硬掩膜形成步骤后得到的半导体器件的结构。

图3意性地示出了光刻胶层形成步骤后得到的半导体器件的结构。

图4示意性地示出了光刻步骤后得到的半导体器件的结构。

图5示意性地示出了硬掩膜刻蚀步骤后得到的半导体器件的结构。

图6示意性地示出了光刻胶层去除步骤后得到的半导体器件的结构。

图7示意性地示出了沟槽刻蚀步骤后得到的半导体器件的结构。

图8示意性地示出了沟槽刻蚀步骤中的氧气流量与沟槽刻蚀步骤所刻蚀出来的沟槽的关键尺寸之间的关系。