[发明专利]涂布型扩散剂组合物

权利要求书

1.一种涂布型扩散剂组合物，所述扩散剂组合物用于使杂质扩散成分扩散至半导体基板，其特征在于，含有：

以下述通式(1)表示的烷氧基硅烷为起始原料的缩合产物(A)、

杂质扩散成分(C)和

有机溶剂(D)，

〔化1〕

R¹_mSi(OR²)_4-m    (1)

式(1)中，R¹、R²是有机基团，多个R¹、R²可以相同，也可以不同，m是0、1或2，其中，m＝0的情况下，缩合化合物(A)由多个(1)形成，必定包含m＝1或2的烷氧基硅烷。

2.如权利要求1所述的涂布型扩散剂组合物，其中，缩合产物(A)包含用下述通式(2)表示的结构，

〔化2〕

式(2)中，X是烷氧基，Y是有机基团，n∶1为95∶5～0∶100的范围。

3.如权利要求2所述的涂布型扩散剂组合物，其中，所述Y是烷基、芳基、环氧基、或-R³-R⁴表示的基团，

多个X、Y可以相同，也可以不同，R⁴是芳基或含有乙烯性不饱和双键的基团，R³是碳原子数为1～9的亚烷基，也可以为具有不同的R³的情况。

4.如权利要求1所述的涂布型扩散剂组合物，其中，进一步含有以下述通式(3)表示的烷氧基硅烷为起始原料的缩合产物(B)，

〔化3〕

Si(OR⁵)₄    (3)

式(3)中，R⁵是有机基团，多个R⁵可以相同，也可以不同。

5.如权利要求2所述的涂布型扩散剂组合物，其中，进一步含有以下述通式(3)表示的烷氧基硅烷为起始原料的缩合产物(B)，

〔化3〕

Si(OR⁵)₄    (3)

式(3)中，R⁵是有机基团，多个R⁵可以相同，也可以不同。

6.如权利要求3所述的涂布型扩散剂组合物，其中，进一步含有以下述通式(3)表示的烷氧基硅烷为起始原料的缩合产物(B)，

〔化3〕

Si(OR⁵)₄    (3)

式(3)中，R⁵是有机基团，多个R⁵可以相同，也可以不同。

7.如权利要求4所述的涂布型扩散剂组合物，其中，缩合产物(A)和缩合产物(B)的SiO₂换算质量比、即A∶B为100∶0～5∶95。

8.如权利要求5所述的涂布型扩散剂组合物，其中，缩合产物(A)和缩合产物(B)的SiO₂换算质量比、即A∶B为100∶0～5∶95。

9.如权利要求6所述的涂布型扩散剂组合物，其中，缩合产物(A)和缩合产物(B)的SiO₂换算质量比、即A∶B为100∶0～5∶95。

10.如权利要求1所述的涂布型扩散剂组合物，其中，所述杂质扩散成分(C)含有III族元素或V族元素的化合物。

11.如权利要求2所述的涂布型扩散剂组合物，其中，所述杂质扩散成分(C)含有III族元素或V族元素的化合物。

12.如权利要求3所述的涂布型扩散剂组合物，其中，所述杂质扩散成分(C)含有III族元素或V族元素的化合物。

13.如权利要求1所述的涂布型扩散剂组合物，其中，相对于缩合产物(A)及缩合产物(B)中的总SiO₂换算质量，所述杂质扩散成分(C)中的杂质原子的换算质量之比为SiO₂换算质量∶杂质原子换算质量＝95∶5～50∶50的范围。