[发明专利]一种电主轴热漂移的控制装置、补偿方法及划片机

权利要求书

1.一种电主轴热漂移的控制装置，其特征在于，包括：

温度控制模块，用于对高速运转的电主轴进行冷却；

热漂移补偿模块，用于获得冷却后的电主轴产生的热漂移量，并根据所述热漂移量对所述电主轴进行补偿。

2.根据权利要求1所述的电主轴热漂移的控制装置，其特征在于，所述温度控制模块包括：

冷却液提供部，用于提供冷却液；

第一冷却组件，用于利用所述冷却液提供部提供的冷却液对所述电主轴的第一部分进行冷却；

第二冷却组件，用于在所述第一冷却组件对所述电主轴的第一部分进行冷却后，利用所述第一冷却组件输出的冷却液对所述电主轴的第二部分进行冷却。

3.根据权利要求2所述的电主轴热漂移的控制装置，其特征在于，

所述第一冷却组件包括：第一外壳和第一衬套；

所述第一外壳设置有至少一个凹槽，所述凹槽沿所述电主轴的转轴的轴向在所述第一外壳的内表面延伸；

所述第一衬套的外表面与所述第一外壳的内表面固定并贴合，使凹槽形成用于容纳冷却液的密封通道；

所述第一衬套的内表面与所述电主轴的径向轴承的外表面贴合；

所述径向轴承呈筒状，其中容纳有所述转轴；

所述转轴上设置有电机转子。

4.根据权利要求3所述的电主轴热漂移的控制装置，其特征在于，

所述第二冷却组件包括：第二外壳和第二衬套；

所述第二衬套设置有至少一个凹槽，所述凹槽沿所述电主轴的转轴的轴向在所述第二衬套的外表面延伸；

所述第二外壳的内表面与所述第二衬套的外表面之间形成具有凹槽的容纳冷却液的密封通道；

所述第二衬套的内表面与电机定子的外表面贴合；

所述电机定子呈筒状，其中容纳有所述电机转子；

所述电机转子设置于所述转轴上。

5.根据权利要求2、3或4所述的电主轴热漂移的控制装置，其特征在于，所述热漂移补偿模块包括：

第一温度传感器，用于检测所述电主轴的温度，并根据所述温度输出第一电信号；

第一滤波电路，用于对所述第一电信号进行滤波，得到第一滤波后电信号；

第一放大电路，用于对所述第一滤波后电信号进行放大，得到第一放大后电信号；

第二温度传感器，用于检测所述电主轴的环境温度，并根据所述环境温度输出第二电信号；

第二滤波电路，用于对所述第二电信号进行滤波，得到第二滤波后电信号；

第二放大电路，用于对所述第二滤波后电信号进行放大，得到第二放大后电信号；

差动比例运算电路，用于获得所述第一放大后电信号与所述第二放大后电信号的差值，输出第三电信号。