[发明专利]一种宽带束均匀性控制的方法与装置无效
申请号: | 201110347067.9 | 申请日: | 2011-11-07 |
公开(公告)号: | CN103094035A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 彭彬;杨占光;龙会跃 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | H01J37/317 | 分类号: | H01J37/317;H01L21/265 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 宽带 均匀 控制 方法 装置 | ||
1.一种宽带束均匀性控制的装置,主要包括:工控机(1),SPI适配器(2),PMAC闭环测控板(3),剂量控制器(4),直线电机(5),七个采样法拉第杯(6),闭环法拉第杯1(7),闭环法拉第杯2(8),移动法拉第电机(9)和移动法拉第杯(10),其相互连结情况见图1。
2.权利1所述移动法拉第杯(9)、闭环法拉第杯1(7),闭环法拉第杯2(8)和七个采样法拉第杯(6)通过同轴电缆与剂量控制器(4)相连,其中移动法拉第(9)用于测量离子束剖面和水平方向束流分布密度。
3.权利1所述闭环法拉第杯1(7)用于注入束流的实时测量,并根据注入束流的大小改变牵引靶台的直线电机(5)的速度,从而达到离子注入的均匀性。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司,未经北京中科信电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110347067.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:拥有照明功能的看书板
- 下一篇:动物药梳