[发明专利]改善灯加热腔体内温度均匀性的方法

权利要求书

1.改善灯加热腔体内温度均匀性的方法，其特征在于，包括步骤：

1)对所述腔体进行校温，获得硅晶圆表面温度分布图形；

2)制定透光挡板；

3)制定与所述温度分布图形的形状相反的模板；

4)将所述模板覆盖到所述透光挡板上，然后涂上涂层；

5)将步骤4)制得的带涂层的透光挡板放到所述腔体内的加热灯和上石英罩的中间；

6)重复步骤3)～5)，调节涂层的形状，直到硅晶圆表面温度的均匀性满足要求。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中，校温步骤为：向硅晶圆中注入硼或磷，然后在所述腔体内退火；退火完成后，测定硅晶圆表面的电阻分布情况，根据温度和电阻值的关系反推出硅晶圆表面的温度分布图形。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述磷注入的剂量为5E13～7E13atom/cm²，能量为70KeV～90KeV；所述硼注入的剂量为1E13～3E13atom/cm²，能量为90KeV～110KeV，角度为6～8度。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)中，所述透光挡板的材质为石英，厚度为1～8毫米。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3)中，所述模板的形状为多角星、同心圆环或间距不等的横竖条形。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述多角星的角数为4～30，所述多角星的顶点都延伸到所述透光挡板的最外圈。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述同心圆环的宽度为1～10厘米，圆环间距为0.5～2厘米。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述条形的宽度为1～10厘米，条形间距为0.5～2厘米。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4)中，所述涂层为氮化硅、硅或多晶硅。

10.根据权利要求1或9所述的方法，其特征在于，步骤4)中，用化学气相沉积方法制作涂层。