[发明专利]设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜

说明书

技术领域

    本方法是将薄膜太阳能中的技术核心PECVD的传片技术，是当TCO玻璃传入到PECVD腔体内部后，利用加热平板作升降动作，其升降动作可以将加热平板直接接触玻璃及carrier，可以将玻璃加热更均匀，此外，此升降平板可以将玻璃顶升，使玻璃其可以靠近showerhead，当showerhead将气体扩散出来后，其加热平板可以控制玻璃与电极之间的间距，进行镀膜，此加热平板除了可以将玻璃加热更加均匀之外，也可以控制间距作均匀的薄膜，可以提高太阳能硅薄膜的均匀性及效率。

背景技术

    业界对于薄膜太阳能电池中已有许多的研究，在制作核心PECVD时也有特殊的设计方式，主要是卧式以及直立式为主，当中在业界与学术界常使用的机台模组，是以卧式的设计居多，而使用卧式PECVD常会有加热不均或者是玻璃有翘曲的情况居多。故本发明是将TCO玻璃先放置于一金属平板上，并一起放入到Carrier内，当Carrier将玻璃传入到PECVD腔体内部时，其加热平板则会开始上升，并接触玻璃与金属平板，此动作除了让TCO玻璃有辐射加热外，也可以利用加热平板产生传导加热，使其TCO玻璃均匀。此外，加热平板在加热完玻璃之后，其加热平板因为可以作升降功能，可以将玻璃顶升，使其玻璃可以靠近Showerhead及电极，由于玻璃在镀膜时，除了需要气体流量、制程压力、RF产生电浆外，也需要控制其玻璃与电极的间距，此间距可以让玻璃产生均匀的电浆，故此发明加热平板可以改善卧式PECVD在制程中发生玻璃加热不均且翘曲的问题外，也可以产生均匀的电浆来制程硅薄膜，故可以提高太阳能硅薄膜镀膜的均匀性及效率。

发明内容

    本发明主要目的是设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜。其PECVD腔体内部设有传动轮轴及真空Pump，且也有Showerhead气流孔及RF电极，此外也有最重要的是本发明加热平板，其加热平板的加热方式是用micro heater进行加热，故可以让加热平板本身为均匀加热，此外这个加热平板下有一组线性马达轴承，这个马达是架设于腔体下，利用其Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降。其方式主要是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，由于玻璃与金属平板一起接触到加热平板，此时加热的方式有传导热及辐射热两种，可以让玻璃均匀升温，且不易有玻璃翘曲的可能，随后当要开始制程时，其加热平板可以再作上升动作，使其玻璃与电极产生一适当的间距，此间距可依制程需要来做改变，而当RF power supply开启的时后，这个间距就可以得到均匀电浆，并可进行制程，当完成制程后，其加热平板则是透过线性马达轴承作下降动作，并让Carrier可以顺利传出，此发明兼顾着玻璃加热均匀不易翘曲外，也有让玻璃与电极产生适当的间距，以便进行电浆制程，故可以达到均匀的硅薄膜，并提高整体太阳能硅薄膜发电效率。

实施方式

    兹将本发明配合附图，详细说明如下所示：请参阅第一图，为本发明设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，由图中可知，其加热平板1需放置于PECVD腔体内部，且与线性马达轴承2是连接一起，在线性马达轴承内部则有Micro heater 4可以作加热此平板的动作，而在加热平板的两侧则是有弹簧轴承3，此弹簧轴承可以在电脑界面控制下，将加热平板上升，因此这个加热平板有其下面功能，可以利用轴承内部的micro heater将加热平板均匀加热，可以把玻璃及金属平板作均匀的加热，此外其加热平板的弹簧轴承可以将加热平板作顶升动作，故可以让加热平板与电极之间有一适当间距，以便进行制程。