[发明专利]设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜

权利要求书

1.一种设计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其PECVD腔体内部设有传动轮轴及真空Pump，且也有Showerhead气流孔及RF电极，此外也有最重要的是本发明加热平板，其加热平板的加热方式是用micro heater进行加热，故可以让加热平板本身为均匀加热，此外这个加热平板下有一组线性马达轴承，这个马达是架设于腔体下，利用其Port与马达之间紧密结合而成，当加热平板欲作升降时，可以由电脑界面将马达开启并作升降，其方式主要是当TCO玻璃与金属平板一起放入Carrier内，并传送到PECVD腔体后，其加热平板利用马达控制轴承作升降，由于玻璃与金属平板一起接触到加热平板，此时加热的方式有传导热及辐射热两种，可以让玻璃均匀升温，且不易有玻璃翘曲的可能，随后当要开始制程时，其加热平板可以再作上升动作，使其玻璃与电极产生一适当的间距，此间距可依制程需要来做改变，而当RF power supply开启的时后，这个间距就可以得到均匀电浆，并可进行制程，当完成制程后，其加热平板则是透过线性马达轴承作下降动作，并让Carrier可以顺利传出，此发明兼顾着玻璃加热均匀不易翘曲外，也有让玻璃与电极产生适当的间距，以便进行电浆制程，故可以达到均匀的硅薄膜，并提高整体太阳能硅薄膜发电效率。

2.根据权利要求1所述的一种计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其加热平板内设有线性马达轴承，此线性马达轴承与腔体port是紧闭一起，故不会造成腔体在抽真空时有漏气的可能，并可以达到腔体内部真空值。

3.  根据权利要求1所述的一种计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其加热平板内部所设计的线性马达轴承，其内部有一组micro heater，其可以针对加热平板进行加热，且其micro heater是为传导热，故加热平板在加热恰当时间后，其温度为均匀，故可以当玻璃与金属平板加热时，可以让玻璃达到均匀的加热，以便能够进行制程。

4.  根据权利要求1所述的计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其加热平板两侧设有弹簧轴承，其弹簧轴承可以透过电脑界面作升降的动作，此升降动作主要是要让加热平板作升降，可以将玻璃顶升到离电极有一适当的间距，可以依制程需求来作调整，并可以当RF power supply开启时得到均匀的电浆，以便进行硅薄膜镀膜。

5.  根据权利要求1所述的计加热平板作升降动作以进行硅薄膜镀膜，其玻璃在加热平板顶升后，其加热平板与金属平板及玻璃接触，故玻璃不会有翘曲状况，且在镀膜时，因有一固定间距，故气流孔流入气体到showerhead后，扩散到腔体内部，此时固定的间距可以让RF power supply开启电浆，并且可以得到均匀电浆进行镀膜，完成后，此加热平板可以作下降动作，并让玻璃可以传出到出口端破真空，来完成制程，本发明的设计，可以让玻璃有一均匀的加热，且可以有一恰当的电极间距，故能够得到均匀的硅薄膜，并且可以提高太阳能硅薄膜电池的发电效率。