[发明专利]适于应用于集成电路的电容结构有效

专利信息
申请号: 201110277643.7 申请日: 2011-09-19
公开(公告)号: CN103000624A 公开(公告)日: 2013-03-27
发明(设计)人: 陈天龙 申请(专利权)人: 群联电子股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L27/08
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 彭久云
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 适于 应用于 集成电路 电容 结构
【权利要求书】:

1.一种电容结构,适于应用于集成电路,该电容结构包括:

金属氧化物半导体电容,具有第一端点与第二端点;以及

两相异结构的金属电容,形成在该金属氧化物半导体电容上,且各耦接于该第一端点与该第二端点之间。

2.如权利要求1所述的电容结构,其中该两相异结构的金属电容包括第一金属电容与第二金属电容,且该第一金属电容为多层平板金属电容,而该第二金属电容为多层叉合金属电容。

3.如权利要求2所述的电容结构,其中该金属氧化物半导体电容以金属氧化物半导体晶体管来实施。

4.如权利要求3所述的电容结构,其中该金属氧化物半导体晶体管为P型金属氧化物半导体晶体管,且该P型金属氧化物半导体晶体管包括:

N型阱;

第一P型掺杂区,配置在该N型阱内,并耦接该第一端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的漏极;

第二P型掺杂区,配置在该N型阱内,并耦接该第一端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的源极;

至少一N型掺杂区,配置在该N型阱内,并耦接该第一端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的基极;

多晶硅层,配置在该N型阱上,并耦接该第二端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的栅极;以及

第一绝缘层,配置于该N型阱与该多晶硅层之间。

5.如权利要求4所述的电容结构,其中该多层平板金属电容至少包括:

第一层平板金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第一端点;

第二层平板金属电极,配置于该第一层平板金属电极上,并耦接该第二端点;以及

第二绝缘层,配置于该第一层平板金属电极与该第二层平板金属电极之间。

6.如权利要求5所述的电容结构,其中该多层叉合金属电容至少包括:

第一层叉合金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第一端点;

第二层叉合金属电极,配置于该第一层叉合金属电极上,并耦接该第二端点;以及

第三绝缘层,配置于该第一层叉合金属电极与该第二层叉合金属电极之间。

7.如权利要求6所述的电容结构,其中该第一端点用以耦接至第一电压,而该第二端点用以耦接至第二电压,其中该第一电压高于该第二电压。

8.如权利要求3所述的电容结构,其中该金属氧化物半导体晶体管为N型金属氧化物半导体晶体管,且该N型金属氧化物半导体晶体管包括:

P型基板;

第一N型掺杂区,配置于该P型基板内,并耦接该第二端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的漏极;

第二N型掺杂区,配置于该P型基板内,并耦接该第二端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的源极;

至少一P型掺杂区,配置于该P型基板内,并耦接该第二端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的基极;

多晶硅层,配置于该P型基板上,并耦接该第一端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;以及

第一绝缘层,配置于该P型基板与该多晶硅层之间。

9.如权利要求8所述的电容结构,其中该多层平板金属电容至少包括:

第一层平板金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第二端点;

第二层平板金属电极,配置于该第一层平板金属电极上,并耦接该第一端点;以及

第二绝缘层,配置于该第一层平板金属电极与该第二层平板金属电极之间。

10.如权利要求9所述的电容结构,其中该多层叉合金属电容至少包括:

第一层叉合金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第二端点;

第二层叉合金属电极,配置于该第一层叉合金属电极上,并耦接该第一端点;以及

第三绝缘层,配置于该第一层叉合金属电极与该第二层叉合金属电极之间。

11.如权利要求10所述的电容结构,其中该第一端点用以耦接至第一电压,而该第二端点用以耦接至第二电压,其中该第一电压高于该第二电压。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于群联电子股份有限公司,未经群联电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201110277643.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top