[发明专利]适于应用于集成电路的电容结构有效
申请号: | 201110277643.7 | 申请日: | 2011-09-19 |
公开(公告)号: | CN103000624A | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 陈天龙 | 申请(专利权)人: | 群联电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02;H01L27/08 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 彭久云 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 适于 应用于 集成电路 电容 结构 | ||
1.一种电容结构,适于应用于集成电路,该电容结构包括:
金属氧化物半导体电容,具有第一端点与第二端点;以及
两相异结构的金属电容,形成在该金属氧化物半导体电容上,且各耦接于该第一端点与该第二端点之间。
2.如权利要求1所述的电容结构,其中该两相异结构的金属电容包括第一金属电容与第二金属电容,且该第一金属电容为多层平板金属电容,而该第二金属电容为多层叉合金属电容。
3.如权利要求2所述的电容结构,其中该金属氧化物半导体电容以金属氧化物半导体晶体管来实施。
4.如权利要求3所述的电容结构,其中该金属氧化物半导体晶体管为P型金属氧化物半导体晶体管,且该P型金属氧化物半导体晶体管包括:
N型阱;
第一P型掺杂区,配置在该N型阱内,并耦接该第一端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的漏极;
第二P型掺杂区,配置在该N型阱内,并耦接该第一端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的源极;
至少一N型掺杂区,配置在该N型阱内,并耦接该第一端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的基极;
多晶硅层,配置在该N型阱上,并耦接该第二端点,以作为该P型金属氧化物半导体晶体管的栅极;以及
第一绝缘层,配置于该N型阱与该多晶硅层之间。
5.如权利要求4所述的电容结构,其中该多层平板金属电容至少包括:
第一层平板金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第一端点;
第二层平板金属电极,配置于该第一层平板金属电极上,并耦接该第二端点;以及
第二绝缘层,配置于该第一层平板金属电极与该第二层平板金属电极之间。
6.如权利要求5所述的电容结构,其中该多层叉合金属电容至少包括:
第一层叉合金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第一端点;
第二层叉合金属电极,配置于该第一层叉合金属电极上,并耦接该第二端点;以及
第三绝缘层,配置于该第一层叉合金属电极与该第二层叉合金属电极之间。
7.如权利要求6所述的电容结构,其中该第一端点用以耦接至第一电压,而该第二端点用以耦接至第二电压,其中该第一电压高于该第二电压。
8.如权利要求3所述的电容结构,其中该金属氧化物半导体晶体管为N型金属氧化物半导体晶体管,且该N型金属氧化物半导体晶体管包括:
P型基板;
第一N型掺杂区,配置于该P型基板内,并耦接该第二端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的漏极;
第二N型掺杂区,配置于该P型基板内,并耦接该第二端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的源极;
至少一P型掺杂区,配置于该P型基板内,并耦接该第二端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的基极;
多晶硅层,配置于该P型基板上,并耦接该第一端点,以作为该N型金属氧化物半导体晶体管的栅极;以及
第一绝缘层,配置于该P型基板与该多晶硅层之间。
9.如权利要求8所述的电容结构,其中该多层平板金属电容至少包括:
第一层平板金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第二端点;
第二层平板金属电极,配置于该第一层平板金属电极上,并耦接该第一端点;以及
第二绝缘层,配置于该第一层平板金属电极与该第二层平板金属电极之间。
10.如权利要求9所述的电容结构,其中该多层叉合金属电容至少包括:
第一层叉合金属电极,配置于该多晶硅层上,并耦接该第二端点;
第二层叉合金属电极,配置于该第一层叉合金属电极上,并耦接该第一端点;以及
第三绝缘层,配置于该第一层叉合金属电极与该第二层叉合金属电极之间。
11.如权利要求10所述的电容结构,其中该第一端点用以耦接至第一电压,而该第二端点用以耦接至第二电压,其中该第一电压高于该第二电压。
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