[发明专利]纵型热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，具备：

炉本体；

加热器，其设置在炉本体内周面；

处理容器，其配置在炉本体内，与炉本体之间形成空间，并且在该处理容器内部收纳多个被处理体；

鼓风机，其经由冷却介质供给线连接于炉本体，向炉本体与处理容器之间的空间供给冷却介质；

排气管，其设置于炉本体；

炉内温度传感器，其检测处理容器内部或者外部的温度；以及

控制装置，其控制加热器和鼓风机，调整处理容器内的温度来使处理容器内的温度收敛为规定的目标温度，

其中，上述控制装置具有：预先确定的数值模型，其与加热器输出和鼓风机输出相关；加热器输出运算部，其根据上述数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出加热器输出；以及鼓风机输出运算部，其根据上述数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出鼓风机输出。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

数值模型具有加热器输出用数值模型和鼓风机输出用数值模型，

加热器输出运算部根据加热器输出用数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出加热器输出，

鼓风机输出运算部根据鼓风机输出用数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出鼓风机输出。

3.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

控制装置还具有将来自鼓风机输出运算部的鼓风机输出转换为冷却介质流量的流量控制运算部。

4.根据权利要求3所述的热处理装置，其特征在于，

流量控制运算部根据冷却介质流量来进行鼓风机的转速控制。

5.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，

在排气管中设置有排气温度传感器，

控制装置还具有：追加鼓风机输出运算部，其用对来自排气温度传感器的排气温度进行跟随的设定温度来确定追加鼓风机输出；以及

鼓风机输出合计部，其对来自鼓风机输出运算部的鼓风机输出和来自追加鼓风机输出运算部的追加鼓风机输出进行合计。

6.一种热处理装置，其特征在于，具备：

炉本体，其划分为多个区域；

加热器，其设置在炉本体的各区域的内周面；

处理容器，其配置在炉本体内，与炉本体之间形成空间，并且在该处理容器内部收纳多个被处理体；

鼓风机，其经由冷却介质供给线连接于炉本体的各区域，向炉本体与处理容器之间的空间供给冷却介质；

排气管，其设置在炉本体的各区域；

炉内温度传感器，其检测与炉本体的各区域相对应的处理容器的内部或者外部的温度；以及

控制装置，其控制与各区域相对应的加热器和鼓风机，调整处理容器内的温度来使处理容器内的温度收敛为规定的目标温度，

其中，上述控制装置具有：预先确定的各区域的数值模型，其与加热器输出和鼓风机输出相关；加热器输出运算部，其根据与该区域相对应的数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出该区域的加热器输出；以及鼓风机输出运算部，其根据与该区域相对应的数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出该区域的鼓风机输出。

7.一种热处理装置，其特征在于，具备：

炉本体；

加热器，其设置在炉本体内周面；

处理容器，其配置在炉本体内，与炉本体之间形成空间，并且在该处理容器内部收纳多个被处理体；

鼓风机，其经由冷却介质供给线连接于炉本体，向炉本体与处理容器之间的空间供给冷却介质；

阀机构，其调整从鼓风机供给的冷却介质的流量；

排气管，其设置在炉本体；

炉内温度传感器，其检测处理容器内部或者外部的温度；以及

控制装置，其控制加热器和阀机构，调整处理容器内的温度来使处理容器内的温度收敛为规定的目标温度，

其中，上述控制装置具有：预先确定的数值模型，其与加热器输出和冷却输出相关；加热器输出运算部，其根据上述数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出加热器输出；冷却输出运算部，其根据上述数值模型和来自炉内温度传感器的炉内温度来求出冷却输出；以及流量控制运算部，其将来自冷却输出运算部的冷却输出转换为冷却介质流量，其中，流量控制运算部根据冷却介质流量来控制阀机构。