[发明专利]振动片、振子、振动器件以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及振动片、振子、振动器件以及电子设备。

背景技术

作为石英振荡器等的振动器件，公知具有音叉型振动片的振动器件，该音叉型振动片具有多个振动臂(例如参照专利文献1)。

例如，专利文献1所记载的振动片具有：基部；从该基部起彼此平行地延伸的3个振动臂；以及在各振动臂上按顺序依次形成下部电极膜、压电体膜和上部电极膜而构成的压电体元件。在这种振动片中，各压电体元件对下部电极膜与上部电极膜之间施加电场，由此使压电体层伸缩，使振动臂在基部的厚度方向(所谓的面外方向)上进行弯曲振动。此时，相邻的两个振动臂彼此朝相反方向进行弯曲振动。即，在位于两端部的两个振动臂(端部振动臂)朝厚度方向的一侧弯曲时，位于中央部的1个振动臂(中央部振动臂)朝厚度方向的另一侧弯曲，两个端部振动臂朝厚度方向的另一侧弯曲时，中央部振动臂朝厚度方向的一侧弯曲。由此，抑制振动泄漏并实现了振动特性的提高。

【专利文献1】日本特开2009-5022号公报

但是，在这种专利文献1所记载的振动片中，在3个振动臂的相同表面(上表面)上设置有压电体元件，因此产生如下问题。即，连接两个端部振动臂的上部电极膜和中央部振动臂的下部电极膜的布线(以下为第1布线)、与连接两个端部振动臂的下部电极膜和中央部振动臂的上部电极膜的布线(以下为第2布线)交叉，布线非常烦杂。此时，在第1布线与第2布线的交叉部分上，需要在第1布线与第2布线之间设置绝缘膜来使两者电分离，从而成为使制造效率变差的原因。

此外，在专利文献1所记载的振动片中，在3个振动臂的相同表面(上表面)上设置有压电体元件，因此产生如下问题。即，各振动臂的重心位于其厚度方向的大致中央，但是由于在3个振动臂的相同表面(上表面)上设置有压电体元件，各振动臂的重心朝上侧(形成有压电体元件的表面侧)移动。由此，在全部振动臂的重心朝相同方向偏离时，3个振动臂的弯曲振动失去平衡，从而振动特性降低。

发明内容

本发明的目的在于，提供实现布线简化以及改善振动平衡带来的振动特性提高中的至少一个的振动片，并且，提供具有该振动片的可靠性良好的振子、振动器件以及电子设备。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。

[应用例1]

本发明的振动片的特征在于，该振动片具有：

基部，其设置在包含第1方向和与该第1方向垂直的第2方向的平面上；

振动臂，其从所述基部起在所述第1方向上延伸，在所述第2方向上排列设置有多个；以及

压电体元件，其设置在各个所述振动臂上，使所述振动臂在所述平面的法线方向上进行弯曲振动，

所述振动臂分别具有第1面、第2面和侧面，所述第1面由于所述弯曲振动而压缩或拉伸，所述第2面在所述第1面压缩时拉伸，在所述第1面拉伸时压缩，所述侧面连接所述第1面和所述第2面，

多个所述振动臂具有相互向相反方向进行所述弯曲振动的至少一个第1振动臂和至少一个第2振动臂，

所述第1振动臂在所述第1面侧设置有所述压电体元件，

所述第2振动臂在所述第2面侧设置有所述压电体元件。

由此，与以往那样在振动臂的一面侧配置全部压电体元件的情况相比，能够避免布线彼此交叉。并且，能够抑制多个振动臂整体的中心在包含第1方向和第2方向的平面的法线方向上的偏离。因此，能够使各振动臂在所述法线方向上平衡良好地进行弯曲振动，从而得到能够发挥优异的振动特性的振动片。

[应用例2]

优选在本发明的振动片中，其特征在于，所述第1振动臂和所述第2振动臂在所述第2方向上交替配置。

由此，能够使通过相邻的两个振动臂产生的振动泄漏相互抵消。从而能够防止振动泄漏。

[应用例3]

优选在本发明的振动片中，其特征在于，

所述压电体元件分别具有第1电极层、第2电极层、和配置于所述第1电极层和所述第2电极层之间的压电体层，

所述第1振动臂在所述第1面上设置有所述第1电极层，

所述第2振动臂在所述第2面上设置有所述第1电极层。