[发明专利]镀膜件及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201110067216.6 申请日: 2011-03-21
公开(公告)号: CN102691043A 公开(公告)日: 2012-09-26
发明(设计)人: 张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;王莹莹 申请(专利权)人: 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/54
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518109 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 及其 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种镀膜件及其制备方法。

背景技术

模具钢被广泛用于锻造、冲压、切型、压铸等工艺,由于模具的工作条件苛刻,在高温下使用时,表面很容易被氧化,形成的不均匀氧化层不仅会降低产品的表面质量,而且模具钢在重复使用的过程中,形成的氧化物锈皮易剥落,暴露的基材在高温下将会继续被腐蚀。因此要求模具钢具有抗高温氧化的性能。

物理气相沉积制备保护性涂层已成功地应用于工业。过渡金属氮化物和碳化物涂层由于具有较高的硬度、良好的化学稳定性,是各类模具钢表面强化薄膜中的首选材料。但它们同时具有高脆性、高残余应力、与基材结合力差等缺陷;且当应用温度较高时,该类膜层容易被氧化而失去功效,导致镀膜件使用寿命缩短。

发明内容

有鉴于此,有必要提供一种有效解决上述问题的镀膜件。

另外,还有必要提供一种上述镀膜件的制备方法。

一种镀膜件,其包括基材及形成于基材表面的打底层、形成于打底层表面的金属铱层、形成于金属铱层表面的氮氧化铬层及形成于氮氧化铬层表面的氮化铬层。

一种镀膜件的制备方法,其包括如下步骤:

提供一基材;

在基材表面形成打底层;

在该打底层的表面形成金属铱层;

在该金属铱层表面形成氮氧化铬层;

在该氮氧化铬层的表面形成氮化铬层。

本发明镀膜件膜系逐层过渡较好,膜层内部没有明显的应力产生,这样在施加外力的情况下,所镀的膜层不会因为内部的应力缺陷导致失效;所述金属铱层具有良好的高温抗氧化性能;所述氮氧化铬层膜层致密,可有效地延缓外界的氧气向膜层内扩散;通过所述金属铱层和氮氧化铬层共同作用,可保护基材在高温(800℃)时不被氧化,从而有效提高镀膜件的使用寿命。

附图说明

图1为本发明一较佳实施例镀膜件的剖视图;

图2是本发明一较佳实施例真空溅射镀膜机的示意图。

主要元件符号说明

镀膜件10基材11打底层13金属铱层15氮氧化铬层17氮化铬层19真空溅射镀膜机20镀膜室21铬靶23铱靶24轨迹25真空泵30

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

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