[发明专利]新型化合物以及含有该化合物的放射线敏感性组合物

权利要求书

1.一种下述式(1)所示的化合物，

式(1)中，R¹是碳原子数为1～12的烷基、碳原子数为4～20的环烷基、碳原子数为1～6的卤代烷基、2-呋喃基、2-糠基、2-噻吩基、2-噻吩甲基、苯基或萘基，该苯基或萘基的氢原子的一部分或全部可以被碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或卤原子取代；

R²和R³各自独立地是碳原子数为1～12的烷基或者碳原子数为3～10的环烷基；

R⁴是氢原子、碳原子数为1～12的烷基、碳原子数为1～12的烷氧基、卤原子、2-呋喃基、2-糠基、2-噻吩基或者2-噻吩甲基；

R⁵是磺基或者SO₂R⁶、P(R⁷)₂、PO(R⁸)₂或者Si(R⁹)₃所示的基团；

R⁶是氢原子、甲基、碳原子数为2～12的烷基、苯基或者萘基，上述碳原子数为2～12的烷基的氢原子的一部分或者全部可以被由羧基、甲氧羰基、乙氧羰基、碳原子数为1～6的酰氧基、苯甲酰氧基和碳原子数为1～20的酰基构成的群组中选出的至少1种基团取代，上述苯基或者萘基的氢原子的一部分或者全部可以被碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或者卤原子取代；

R⁷、R⁸和R⁹各自独立地是碳原子数为1～12的烷基、苯基或者萘基，该苯基或者萘基的氢原子的一部分或者全部可以被碳原子数为1～6的烷基、碳原子数为1～6的烷氧基或者卤原子取代。

2.根据权利要求1所记载的化合物，其中上述R¹、R²、R³和R⁴各自独立地是碳原子数为1～8的烷基，上述R⁵是SO₂R⁶、PO(R⁸)₂或者Si(R⁹)₃所示的基团，上述R⁶是氢原子的一部分或全部被乙酰氧基取代的碳原子数为2～6的烷基，上述R⁸是苯基，上述R⁹是碳原子数为1～6的烷基。

3.一种放射线敏感性组合物，其包括：

[A]作为光聚合引发剂的权利要求1或2所记载的化合物，以及

[B]具有乙烯基不饱和双键的聚合性化合物。

4.根据权利要求3所记载的放射线敏感性组合物，其进一步含有[C]碱可溶性树脂。

5.由权利要求3或权利要求4所记载的放射线敏感性组合物形成的固化膜。