[发明专利]提高非易失性电阻转变存储器均一性的方法有效
申请号: | 201110023200.5 | 申请日: | 2011-01-20 |
公开(公告)号: | CN102610747B | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 刘明;连文泰;龙世兵;吕杭炳;刘琦 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 王建国 |
地址: | 100029 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提高 非易失性 电阻 转变 存储器 均一 方法 | ||
1.一种提高非易失性电阻转变存储器均一性的方法,其特征在于,包括:
施加一个电流扫描信号到电阻转变存储器,直到电阻表示电阻转变存储 器的置位态;以及
施加一个电流扫描信号到电阻转变存储器,直到电阻表示电阻转变存储 的复位态;
在对所述电阻转变存储器进行置位时,对所述施加的电流扫描范围进行 限定;在对所述电阻转变存储器进行复位时,对复位电压的最大值进行限制。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电阻转变存储器包括:
下电极;
在所述下电极上形成的介质层;以及
形成于所述介质层上的上电极。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于:
所述下电极和上电极由选自铂、镍、铜、金、钨、铬、钌、铱、钴或其 合金中的一种材料形成。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:
所述介质层的材料包括硫族化物、二元氧化物或多元氧化物。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:
所述硫族化物包括AgGexSe1-x、AgGeS、CuGeS、AgZnxCd1-x、CuI0.76S0.14或Cu2Se。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于:
所述二元氧化物包括锆的氧化物、铪的氧化物、钛的氧化物、铝的氧化 物、铜的氧化物、镍的氧化物、锌的氧化物或锰的氧化物。
7.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:
所述多元氧化物包括Pr1-xCaxMnO3或SrZrO3。
8.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:
所述介质层的材料还包括CuWOx、CuSiOx、AgI、AgSbxTe1-x或 (Ag2S)x(As2S3)1-x。
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