[发明专利]单体沉积设备和该单体沉积设备的单体排出方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种单体沉积设备和单体沉积设备的单体排出方法。更具体地说，本发明涉及一种用于将残余气体有效地排到在其上沉积单体的主腔室和接收单体的单体腔室的外部的单体沉积设备、以及该单体沉积设备的单体排放方法。

背景技术

有机发光二极管（OLED）显示装置是表征为其本身发光的下一代显示装置，并且就视角、对比度、反应速率和功耗来说都优于液晶显示装置（LCD）。

OLED显示装置包括以矩阵方式连接在扫描线和数据线之间的OLED，以构成像素。OLED包括阳极电极、阴极电极以及形成在阳极电极和阴极电极之间的有机薄膜，该有机薄膜包括空穴传输层、有机发光层和电子传输层。当向阳极电极和阴极电极施加预定电压时，通过阳极电极注入的空穴与通过阴极电极注入的电子在发射层重新组合，并且在该过程中产生的能量差导致发出光。

然而，OLED包括有机材料，因而易受氢或氧的影响，并且阴极电极由金属形成，因而容易由于空气中的潮气而氧化，从而导致电气特性和发射特性下降。因此，为了克服这些缺点，将呈罐或杯状的由金属形成的容器或由玻璃或塑料形成的包封基板布置成面对形成OLED的基板，以利用诸如环氧树脂之类的密封剂密封。

使用容器或包封基板的技术不容易应用于薄或柔性的OELD显示装置。结果，为了密封薄或柔性的OLED显示器，已经提出了薄膜包封技术。

如图1所示，作为薄膜包封技术的示例，一种在OLED2上交替地堆叠有机层3和无机层4以形成包封层的方法符合OLED显示装置所要求的大约10E－6/g/m2/天的水蒸气传输率（WVTR）的要求，因而获得广泛使用。

参照图2，被转化为处于蒸气状态的单体m从收纳呈液体状态的单体的单体箱21供应至单体腔室20。当基板1在主腔室10中被输送到单体腔室20的上方时，闸门30打开，单体m被放出到基板1以被沉积在基板1上。之后，单体m通过UV射线固化而变成聚合物，从而形成有机层3。这里，为了均匀地维持有机层3的特征，例如，密度、厚度等，将单体腔室20中的不必要的残余气体排出十分必要。这里，残余气体是指除了形成薄膜材料的单体m的蒸气（或单体m蒸气和源气体）之外的气体。也就是说，该气体包括了从单体腔室20的表面排出的气体、从单体m材料生成的不必要的气体或用于净化供应单体m的流动路径的氩气。为了将这些气体排出，通常将真空泵41连接至单体腔室20以将不必要的残余气体排放到外部。

此外，主腔室10维持其中的真空状态，即大约10E^－4到10E^－7托（torr）的真空。用于维持真空状态的真空泵42被安装成连接至主腔室10。

然而，安装在排放单体腔室20中的残余气体的流动路径上的真空泵41除了将残余气体排出之外还导致形成薄膜的单体m排出，从而真空泵41短时间内就已经被污染。真空泵的严重污染已经致使沉积设备的操作停止，并且执行维护的次数增加，从而设备的生产率降低。

另外，连接至单体腔室20的真空泵41仅仅用来将单体腔室20中的残余气体排放到外部，但是尚未用来将主腔室20中的真空状态保持为相对于高于单体腔室20。

发明内容

技术问题

因此，为了解决这些缺陷，提供了单体沉积设备和该单体沉积设备的单体排放方法，以选择性地将真空泵连接至主腔室或单体腔室，从而增强真空泵的利用率，并且以安装能够回收单体腔室和真空泵之间的单体的单元，从而改进真空泵的维护，并且降低更换真空泵所带来的成本。

技术方案

在一个总体方面中，提供了一种单体沉积设备，该单体沉积设备包括：主腔室，在该主腔室中将单体沉积在基板上；单体腔室，该单体腔室被构造成收纳处于蒸气状态的单体；闸门，该闸门被构造成将所述单体腔室打开，从而将单体从所述单体腔室放出到所述主腔室；单体回收单元，该单体回收单元被构造成从自所述单体腔室排放到外部的气体回收单体；第一真空泵，该第一真空泵连接至所述主腔室或所述单体回收单元，并且被构造成抽吸所述主腔室或所述单体腔室中的单体或气体；第一阀，该第一阀被构造成打开或关闭所述主腔室和所述第一真空泵之间的流动路径；以及第二阀，该第二阀被构造成打开或关闭所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的流动路径。

所述单体回收单元可以为单体冷捕集器，该单体冷捕集器被构造成利用从外部提供的制冷剂将处于蒸气状态的单体凝结并回收。

所述单体沉积设备可进一步包括第二真空泵，该第二真空泵连接至所述主腔室并被构造成抽吸所述主腔室中的单体或气体。