[发明专利]单体沉积设备和该单体沉积设备的单体排出方法

权利要求书

1.一种单体沉积设备，该单体沉积设备包括：

主腔室，在该主腔室中将单体沉积在基板上；

单体腔室，该单体腔室被构造成收纳处于蒸气状态的单体；

闸门，该闸门被构造成将所述单体腔室打开，从而将单体从所述单体腔室放出到所述主腔室；

单体回收单元，该单体回收单元被构造成从自所述单体腔室排放到外部的气体回收单体；

第一真空泵，该第一真空泵连接至所述主腔室或所述单体回收单元，并且被构造成抽吸所述主腔室或所述单体腔室中的单体或气体；

第一阀，该第一阀被构造成打开或关闭所述主腔室和所述第一真空泵之间的流动路径；以及

第二阀，该第二阀被构造成打开或关闭所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的流动路径。

2.根据权利要求1所述的单体沉积设备，其中所述单体回收单元为单体冷捕集器，该单体冷捕集器被构造成利用从外部提供的制冷剂将处于蒸气状态的单体凝结并回收。

3.根据权利要求1所述的单体沉积设备，该单体沉积设备还包括第二真空泵，该第二真空泵连接至所述主腔室并被构造成抽吸所述主腔室中的单体或气体。

4.一种使用权利要求1所述的单体沉积设备排出单体的方法，该方法包括：

第一排放操作，在该第一排放操作中，当单体正被从所述单体腔室放出到所述主腔室并且正在执行沉积过程时，所述主腔室和所述第一真空泵之间的流动路径被所述第一阀打开，而所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的流动路径被所述第二阀关闭，从而通过所述第一阀和所述第一真空泵将所述主腔室中的单体或气体排出；和

第二排放操作，在该第二排放操作中，当停止向所述单体腔室供应单体而供应用于净化将所述单体腔室连接至外部的流动路径的净化气体时，所述主腔室和所述第一真空泵之间的所述流动路径被所述第一阀关闭，而所述单体回收单元和所述第一真空泵之间的所述流动路径被所述第二阀打开，从而通过所述单体回收单元、所述第二阀和所述第一真空泵将所述单体腔室中的气体排出。

5.根据权利要求4所述的方法，该方法还包括第三排放操作，在该第三排放操作中，抽吸所述主腔室中的单体或气体的第二真空泵连接至所述主腔室，并且所述主腔室中的单体或气体被所述第二真空泵排出到外部，所述第三排放操作与所述第一排放操作和所述第二排放操作一起执行。